판매용 중고 BROOKS Techware II Ultra #9153586

BROOKS Techware II Ultra는 사진 촬영 기반 프로세스 및 제조 작업을 수용하도록 설계된 고성능 웨이퍼 처리 장치입니다. 반도체 제조 및 기타 정밀 기반 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. 테크웨어 II 울트라 (Techware II Ultra) 에는 고정밀 모션 컨트롤 장비가 장착되어 있어 뛰어난 제조 설계 방식 (design-to-manufacturing) 방식을 활용하여 더 나은 웨이퍼 처리 정확도와 더 빠른 웨이퍼 로딩 속도를 제공합니다. 모션 제어 시스템은 0.1 미크론 해상도와 0.1 ° 드라이브 이상의 8 축 포지셔너를 제공합니다. 따라서 정확한 웨이퍼 로드 및 언로드 작업을 수행하는 데 적합합니다. 브룩스 테크웨어 II 울트라 (BROOKS Techware II Ultra) 에는 루프 (closed-loop) 자동 초점 장치가 장착되어 있어 로드 및 언로드 작업 중에 웨이퍼의 최적 초점이 유지됩니다. 이렇게 하면 잘못된 정렬을 방지하고, 웨이퍼 로드 및 언로드 작업의 정확성을 향상시킬 수 있습니다. Techware II Ultra에는 오염 위험을 줄이고 웨이퍼 부품 클램프 힘을 향상시키기 위해 통합 정전기 척 (ESC) 이 제공됩니다. 또한 듀얼 톤 로드 로커 (dual-tone load-locker) 와 별도의 고정 높이 척 (chuck) 이 장착되어 유연한 웨이퍼 지원 및 향상된 정확성을 제공합니다. BROOKS Techware II Ultra에는 통합 에지 그립 머신도 제공됩니다. 이렇게 하면 "로봇 '무기 는 가장자리 를 손상 시키지 않고 안전 하게" 웨이퍼' 를 잡고 움직 일 수 있다. 이것 은 "웨이퍼 '가 움직 이는 동안 정확 하게 잡혀 있을 것 이며, 그 로 인해 오해 가 생길 가능성 이 있다. 테크웨어 II 울트라 (Techware II Ultra) 에는 직관적인 사용자 인터페이스와 향상된 보안 기능이 있어 무단 액세스로부터 도구를 안전하게 보호할 수 있습니다. 사용자 인터페이스는 wafer holder 매개 변수 구성, wafer 크기 선택, wafer 수 등을 위한 옵션을 제공합니다. 또한 보정 에셋이 내장되어 있어 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 가 올바르게 정렬되어 최대 정확도로 작동 할 수 있습니다. 전반적으로 BROOKS Techware II Ultra는 고급 정밀 동작, 클로즈드 루프 자동 초점 모델, 통합 정전기 척, 에지 그립 장비, 사용자 친화적 인 인터페이스를 결합하여 반도체 제조 및 기타 정확한 웨이퍼 처리 응용 프로그램.