판매용 중고 BROOKS Techware 5 #9153587

BROOKS Techware 5는 로봇 공학, 메커니즘 및 비전 시스템의 최신 발전으로 설계된 고급 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 테크웨어 5 (Techware 5) 는 컴팩트한 로우 프로파일 (Low Profile) 디자인에 고속 선형 모션을 통합하여 하나의 원활한 작업에서 웨이퍼를 로드 및 언로드합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 정밀한 정렬 및 열 무결성을 위해 프로세스 챔버 크기와 일치시키면서 200mm 및 300mm 웨이퍼 크기를 지원하도록 설계되었습니다. 통합 비전 시스템은 웨이퍼 평면도 (wafer flatness) 와 청결도 (cleanliness) 를 검증하는 한편, 프로세스에서 프로세스까지 웨이퍼를 추적하여 운영자가 쉽게 추적할 수 있습니다. 브룩스 테크웨어 5 (BROOKS Techware 5) 의 고급 정밀도는 클로즈드 루프 피드백 제어 (closed-loop feedback control) 를 통해 통합 서보 구동 선형 및 회전 단계를 사용하여 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 매우 정확한 동작은 2Gbps 속도로 작동하는 멀티 코어 (multi-core) 프로세서를 포함한 통합 서보 드라이브 (servo drive) 시스템으로 구동됩니다. 컨트롤러는 모션 최적화 (motion optimization) 알고리즘이 내장된 최신 모션 제어 (motion-control) 소프트웨어를 사용하여 최적의 트래버스 속도를 결정하여 처리량을 극대화하면서 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. 테크웨어 5 (Techware 5) 는 정확한 모션 제어 외에도 장비와 인력을 모두 보호하기 위해 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. "펜스 '가 열려 있을 때 수술 을 방지 하기 위해" 인터록' 역할 을 하는 안전 "펜스 '로 작동 을 보호 한다. 온보드 라이트 커튼 (integrated light curtain) 기능은 잠재적으로 운영을 방해 할 수있는 장애물이나 이물질을 식별합니다. 설계 내에서 모든 동작 활동 (motion activity) 을 종료하고 연산자에게 알리기 위해 신호를 보내는 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼도 제공됩니다. 브룩스 테크웨어 5 (BROOKS Techware 5) 는 안정적인 데이터 처리 및 통신 기능을 제공하여 다양한 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 실시간 통신 및 통합 오류 감지 기능을 갖춘 SEMI 표준 E92 및 E39와 호환됩니다. 테크웨어 5 (Techware 5) 는 또한 원격 액세스 및 진단을 위해 최신 네트워크 인터페이스를 사용하여 강력한 진단 기능을 제공합니다. 첨단 모션 컨트롤, 안정적인 통신, 높은 정확성 덕분에 브룩스 테크웨어 5 (BROOKS Techware 5) 는 300mm 웨이퍼에 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리가 가능한 강력하고 안정적인 웨이퍼 핸들러입니다. 고속, 반복 가능한 (repeatable) 환경의 요구에 적합하며, 컴팩트한 디자인으로 공간이 제한된 제조 프로세스에 적합합니다.