판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ZBot #9162072

BROOKS/PRI AUTOMATION ZBot는 고성능 완전 자동화 웨이퍼 핸들러입니다. 단일 통합 플랫폼 (Single Integrated Platform) 을 통해 엔지니어링 시간과 노력을 절감하고, 장비 처리량을 높이고, 동시에 재료 비용을 절감할 수 있습니다. BROOKS ZBot에 통합 된 완전한 컴퓨터 기반 웨이퍼 전송 모듈로, 매우 정확한 로봇 포지셔닝 및 진공 픽업을 통해 스테이션 간에 웨이퍼를 정확하게 이동합니다. "웨이퍼 핸들러 (wafer handler) '는 처리 흐름에 추가 단계를 추가하는 기능을 포함하여 최종 사용자의 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 최종 사용자의 요구에 부합합니다. 이를 통해 사용자는 효율성 (Efficiency) 및 생산량 (Production Revield) 을 극대화하기 위해 기존 처리 워크플로를 생성하거나 수정할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ZBot는 웨이퍼 클리닝, 에칭, 증착, 건조 및 습식 산화, 어닐링 등 다양한 프로세스를 실행할 수 있습니다. 또한 사용자는 오픈 액세스 자동화 (open-access automation) 를 활용할 수 있습니다. 즉, 시스템의 일부는 다른 위치에서 원격으로 제어 할 수 있습니다. 정확하고 일관된 프로세스 제어를 위해 BROOKS/PRI AUTOMATION ZBot는 다중 센서 및 RFID 태그 식별으로 설계되었습니다. 이렇게 하면 장치 내에서 각 웨이퍼를 적절히 처리, 올바르게 추적할 수 있습니다. 또한 고급 추적 (Advanced Tracking) 기능을 통해 프로세스 기록을 모니터링하고 각 Wafer 의 개별 프로세스 매개변수를 저장하여 보다 효율적인 프로세스 관리를 수행할 수 있습니다. BROOKS ZBot는 또한 뛰어난 안정성 및 안전 기능을 제공합니다. 닫힌 루프 로봇 머신 (closed-loop robotic machine) 을 사용하면 각 웨이퍼의 위치를 정확하게 실시간 모니터링할 수 있으며, 인간 오류의 위험을 제거합니다. 또한 안전 "프로토콜 '도 포함 되며," 웨이퍼' 표면 과 "로봇 '암 사이 에 신체적 인 접촉 이 없도록 하여 오염 가능성 을 감소 시킨다. 마지막으로 PRI AUTOMATION ZBot 도구는 설치, 설치, 교육 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 는 작업을 단순화하는 반면, 시각적 프로그래밍 환경은 몇 번의 마우스 클릭으로 프로그래밍 시퀀스를 사용자 정의할 수 있습니다. 문제 해결을 위한 온라인 도움말 자산도 포함되어 있습니다. 전반적으로, ZBot은 효율적이고 안정적인 성능을 제공하는 강력한 웨이퍼 핸들러입니다. 프로세스 흐름을 간소화하고, 처리량을 극대화하고, 복잡성을 최소화하며, 안전하고 안정적인 프로세스를 보장하도록 설계되었습니다.