판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION VCE 6 #9121532

BROOKS/PRI AUTOMATION VCE 6은 전체 웨이퍼 크기 변경 프로세스를 단순화하고 개선하기 위해 설계된 고성능 웨이퍼 처리 장비입니다. 최소한의 설치 공간을 차지하고 인력과 도구를 모두 보호하기 위한 고급 안전 (Advanced Safety) 기능을 갖춘 컴팩트 (Compact) 디자인을 제공합니다. BROOKS VCE 6 시스템은 반도체 제작 시설에 사용하도록 설계되었으며 8 "-12" 웨이퍼 또는 6 "-9" 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 웨이퍼 청소, 뒷면 처리 및 리소그래피 시스템과 호환됩니다. PRI AUTOMATION VCE-6은 주 기지국, 11 위치 디스크 유형 운송기 및 리프트 어셈블리로 구성됩니다. 기본 기지국 (Main Base Station) 에서는 다른 웨이퍼 크기와 방향을 수용하도록 장치를 신속하게 구성할 수 있습니다. 제어판 (Control Panel) 이 있으며, 운영자 인터페이스 및 지침용 디스플레이가 포함되어 있으며, 다른 자동 장비 및 서비스에 연결하기 위한 입력 및 출력이 포함되어 있습니다. 수송기 (transporter) 와 리프트 (lift) 어셈블리를 함께 연결하여 연산자가 자동으로 웨이퍼를 리프트로 이동하고, 웨이퍼를 잡고, 디스크에 배치합니다. 리프트 어셈블리는 수직 수송과 수평 웨이퍼 포지셔닝 (wafer positioning) 및 기울기 각도 조정 (tilt angle adjustment) 을 지원합니다. 또한 웨이퍼 각도를 변경하기위한 반전 모터 (inverted motor) 와 웨이퍼 이동 제어를위한 정밀 모터 (precision motor) 가 포함되어 있습니다. PRI AUTOMATION VCE 6에는 운송기 내 잼을 감지하는 안티 잼 머신 (anti-jam machine), 기지국 내에 위치한 센서, 잠재적 충돌을 감지하는 트랜스포터 (transporter), 웨이퍼가 실수로 떨어질 경우 자동 낙하 센서, 외부 먼지 및 잔해. 또한, 이 도구에는 웨이퍼 위치를 정확하게 감지하는 데 사용되는 자동 웨이퍼 감지 (automated wafer-sensing) 에셋이 장착되어 있습니다. VCE 6은 직관적이고 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 편리하고 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있으며, Wafer 맵을 표시하고 각 Wafer에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 또한 사용자 관리, 암호 보호 기능, 워크샵 통합, 데이터 로깅 기능 등이 내장되어 있습니다. 이러한 모든 기능은 고급 안전 (Safety) 기능과 결합하여 VCE-6을 안전하고 효율적인 반도체 제작에 이상적인 선택으로 만듭니다.