판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION VCE 6 #9029314

BROOKS/PRI AUTOMATION VCE 6은 웨이퍼 핸들러, 특히 웨이퍼 정렬, 웨이퍼 버클링 및 기타 웨이퍼 처리 작업에 사용되는 2 차원 MEMS 동작 기능을 갖춘 완전 자동화 된 웨이퍼 레벨 장치입니다. 브룩스 VCE 6 (BROOKS VCE 6) 은 고효율 스테이지 디자인과 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 갖추고 있어 운영자가 지정된 영역 전체에서 다양한 크기의 웨이퍼 이동을 빠르고 편리하게 관리할 수 있습니다. PRI AUTOMATION VCE-6은 Wafer-Handling 작업의 속도, 정확성 및 품질이 중요한 프로덕션 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 컨트롤러, 모션 컨트롤 카드, 모션 컨트롤러 등 일련의 구성 요소로 구성되어 있습니다. 컨트롤러에는 데이터, 통신, 기타 신호 처리, 웨이퍼 동작 제어를 위한 PC 기반 제어 장비가 포함되어 있습니다. 모션 컨트롤에 사용되는 소프트웨어와 하드웨어 인 모션 컨트롤 카드 (motion control card) 는 시스템의 x 및 y 축을 따라 부드럽고 반복 가능한 2 차원 동작을 제공합니다. 이를 통해 프로세스의 모든 단계에서, 언로드 (unloading) 에서 로드 (loading) 까지, 그리고 버퍼링 (buffering) 과 조정 (adjustment) 에 따라 와퍼 (wafer) 를 정확하고 미세하게 배치하고 정렬할 수 있습니다. 모션 컨트롤러는 스테퍼 모터를 구동하는 데 사용되며, 이 모터는 정확하고 반복 가능한 위치 제어 (position control) 를 제공하며 고속 웨이퍼 처리 (wafer handling) 작업을 실현합니다. 브룩스/프리 오토메이션 (BROOKS/PRI AUTOMATION) VCE-6 (VCE-6) 은 또한 버클링 중에 웨이퍼에 가해지는 힘을 조정하는 기능, 사이트 내 버클링 프로세스를 모니터링하고 조정하는 기능 등 고급 웨이퍼 버클링을 허용하는 기능을 갖추고 있습니다. 또한 PRI AUTOMATION VCE 6은 기존의 제조 프로세스에 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. PLC (Programmable Logic Controller) 는 장치의 모션 이벤트, 온도 및 압력에 대한 종합적인 제어 및 모니터링을 제공합니다. 마지막으로, VCE 6에는 긴급 차단 메커니즘 및 기타 안전 측정 (Safety Mechanism) 과 같은 오류 없는 작동을 허용하는 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이러한 혁신적이고 잘 설계된 구성 요소의 조합은 안정적이고, 빠르고, 정확하며, 웨이퍼 처리 (wafer-handling) 작업을 위한 고성능 솔루션을 제공하는 머신을 만듭니다.