판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION TRA-048-SBI #9288509
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ID: 9288509
빈티지: 1999
EFEM
DATALUX Touch screen interface
Frame
Robot rail
Hepa filter
Power distribution box
1999 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION TRA-048-SBI는 다양한 반도체 제조 프로세스에 사용하기 위해 얇은 웨이퍼를 안전하고 정확하게 조작하는 데 사용되는 웨이퍼 핸들러 유형입니다. BROOKS TRA-048-SBI 웨이퍼 핸들러는 반도체 엔지니어를 위한 고성능, 비용 효율적인 자동화 솔루션입니다. 운영 환경에서 씬 웨이퍼를 정확하고, 반복적으로 처리하며, 안정적으로 처리할 수 있습니다. PRI AUTOMATION TRA-048-SBI는 직경이 최대 8 "(200mm) 인 얇은 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 두 부분으로 구성된 2 축 짐벌 헤드 (gimbal head) 가 특징이며, 웨이퍼를 정확하게 배치하고 처리 중 전위를 막을 수 있습니다. 이 헤드는 또한 독립적이고 조절 가능한 장력 (tensioning equipment) 을 가지고 있으며, 반복 가능하고 안정적인 성능을 보장하며 웨이퍼의 긁힘을 방지합니다. 또한, 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 유발 된 진동을 최소화하고 웨이퍼에 추가 손상을 방지하도록 설계된 저진동 서보 구동 Z축을 특징으로합니다. TRA-048-SBI에는 고급 감지 기술 (Advanced Sensing Technology) 이 있어 웨이퍼를 자동으로 감지할 수 있으며, 처리되지 않은 것과 처리되지 않은 것을 구별 할 수도 있습니다. 이 고급 (advanced) 기능은 사용자에게 로봇의 상태에 대한 피드백을 제공하며, 얇은 웨이퍼가 잘못 처리되는 것을 방지합니다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 에는 시스템 성능을 최적화하고 치명적인 결과를 방지하기 위한 여러 안전 매개변수도 포함되어 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION TRA-048-SBI는 모든 표준 로봇 자동화 시스템과 호환됩니다. 또한 웨이퍼 캐리어 어셈블리 (wafer carrier assembly) 와 웨이퍼 리셉터클 (wafer receptacle) 을 포함한 여러 액세서리와 함께 사용할 수 있어 장치 성능과 사용자 편의성을 향상시킵니다. 전반적으로 BROOKS TRA-048-SBI 웨이퍼 처리기는 얇은 웨이퍼를 처리하기 위한 정교하고 효율적이며 비용 효율적인 솔루션입니다. 원하지도 않은 진동 (Vibration) 과 웨이퍼 손상 (Wafer Damage) 가능성을 줄이면서 생산의 신뢰성을 향상시키도록 설계되었습니다. 첨단 감지 기능 (Advanced Sensing Capability) 과 여러 안전 매개변수 (Safety Parameter) 를 통해 매우 정밀하고 관리하기 위해 얇은 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 이 웨이퍼 처리 기는 다양한 반도체 관련 산업에 이상적인 솔루션입니다.
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