판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION Razor 162802-0001 #9093126
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ID: 9093126
Atmospheric robot
Controller M/N: 164791
With BROOKS AUTOMATION JET M/N 141000-0081.
BROOKS/PRI AUTOMATION RAzor 162802-0001은 여러 웨이퍼 제조 프로세스의 출력 효율성과 정밀도를 높이도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 300mm ~ 450mm 크기의 다양한 웨이퍼 기판 (wafer substrate) 과 호환되므로 광범위한 생산 요구에 이상적인 솔루션입니다. BROOKS Razor 162802-0001 은 전체 프로세스 전반에 걸쳐 자동으로 상태를 모니터링하면서 Wafer 를 구성 장비 안팎으로 전송, 정렬, 로드할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 통합 공간 뷰 스테이션 (spatial view station) 을 통해 운영자는 크기, 각도, 깊이 등 웨이퍼에 관한 여러 매개변수를 정의하고 사용자정의할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 매우 효율적인 로드/언로드 속도를 제공합니다. 이는 로드 또는 언로드 중에 섬세한 기판이 손상되지 않도록 하는 데 중요합니다. 다이렉트 드라이브 모터 (direct drive motor) 를 사용하여 동작에 전원을 공급하므로 매우 정확하고 안정적입니다. 또한 인력과 장비를 모두 보호하는 데 도움이 되는 다양한 안전 기능 (예: 기울기 제한 스위치 (tilt limit switch) 및 도어 인터 록 (door interlock)) 이 장착되어 있습니다. PRI AUTOMATION Razor 162802-0001의 사용자 친화적 인터페이스, 고급 소프트웨어, 견고성 강화 (Rugged) 하드웨어 설계는 다양한 종류의 프로덕션 요구에 적합합니다. 이 시스템은 설치와 구성이 용이하며, 다른 공장 자동화 시스템 (factory automation system) 과 쉽게 통합될 수 있습니다. 즉, 고급 진단 및 모니터링 (monitor) 기능을 통해 문제를 신속하게 파악하고 해결하여 운영 프로세스의 지속성을 더욱 보장할 수 있습니다. 전반적으로 Razor 162802-0001은 고급, 신뢰성, 정밀 웨이퍼 핸들러로, 다양한 프로덕션 시나리오에 최적의 성능을 제공합니다. 효율적인 로드/언로드 속도, 다이렉트 드라이브 모터 (Direct Drive Motor), 다양한 안전 기능을 통해 안전하고 신뢰할 수 있으며, 사용자 친화적인 인터페이스와 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 통해 쉽게 사용 및 구성할 수 있습니다. 다양한 기판, 직관적인 진단, 안전한 안전 (secure safety) 기능을 갖춘 이 제품은 다양한 생산 요구에 이상적인 솔루션입니다.
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