판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION PRE-300 #293795355

BROOKS/PRI AUTOMATION PRE-300은 클린 룸 자동화에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 일반적으로 반도체 웨이퍼에서 에치 (etch), 증착 (deposition) 및 확산 (diffusion) 과 같은 프로세스 전송, 정렬 및 실행에 사용됩니다. 이 "웨이퍼 '처리기 는 직경 이 3" 인치' 나 되는 엄밀 한 "마이크로 '전자" 웨이퍼' 를 안정적 으로 처리 할 수 있는 정밀 장치 이다. 이 장치에는 통합 비전 시스템 (Integrated Vision System) 과 레이저 정렬 시스템 (Laser Alignment System) 이 장착되어 있어 적절한 방향과 정확한 웨이퍼 자세를 보장합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 웨이퍼로드 및 언로드 메커니즘이있는 스테인리스 스틸 프레임으로 제작되었습니다. 3 축 로봇 암은 프레임에 장착되어 있으며, 방사형 (radial) 방향과 선형 (linear) 방향으로 움직일 수 있습니다. 암의 엔드 이펙터 (end-effector) 에는 웨이퍼를 파악하여 안전하게 움직이는 진공 척 (vacuum chuck) 이 장착되어 있으며, 통합 비전 시스템은 적절한 위치 및 정렬을 보장합니다. 웨이퍼 핸들러 (waferhandler) 에는 작동 매개변수를 모니터링하는 센서 배열이 장착되어 있습니다. 여기에는 온도, 압력 및 진동 센서가 포함됩니다. 이 데이터는 모든 시스템의 성능을 모니터링하기 위해 수집, 분석됩니다. 통합 비전 시스템 (Integrated Vision System) 과 높은 자동화를 제공하는 독점 소프트웨어 제품군에 의해 전체 시스템이 제어됩니다. BROOKS PRE-300은 청소실 작동을 위해 설계되었으며, 입자 생성, 먼지 및 기타 오염 물질을 최소화하도록 설계되었습니다. CE 규정을 준수하며 모든 관련 안전 기준을 충족합니다. PRI AUTOMATION PRE-300은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리기입니다. "웨이퍼 '를 정확 하게 맞추고 달릴 수 있는 능력 은 모든 제조 시설 에 훌륭 한 부가 장치 가 된다. 광범위한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리 할 수있는 정밀 웨이퍼 핸들러 (waferhandler) 를 찾는 운영자에게 완벽한 선택입니다.