판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION P/N 002-7391-08 #128190

BROOKS P/N 002-7391-08은 반도체 제조 공장에서 사용하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 이 자동화 장비는 유연성이 뛰어난 설계로, 소형의 공간 절약형 폼 팩터 (form factor) 로 매우 효율적이고 다양한 wafer moving 기능을 제공합니다. 150mm ~ 200mm 직경의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며 웨이퍼 정렬, 리프팅, 전송, 스태킹 등 진공 웨이퍼 처리를 위해 다양한 자동화 기능을 제공합니다. PRI AUTOMATION P/N 002-7391-08은 높은 토크, 브러쉬없는 서보 모터를 갖춘 강력한 멀티 축 동작 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이것은 무거운 페이로드를 사용하더라도 정확하고, 부드럽고, 일관된 로봇 이동을 보장합니다. 통합 모션 컨트롤러 (Integrated Motion Controller) 는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 제공하며, 명령 라이브러리를 통해 쉽게 프로그래밍을 수행할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러에는 정밀 웨이퍼 검사 및 정렬을위한 특허 비전 장치가 포함되어 있습니다. 직관적인 소프트웨어 인터페이스를 통해 비전 머신 구성 및 프로그래밍이 간편합니다. 시력 도구 (vision tool) 는 전체 웨이퍼에서 다양한 3 차원 측정을 수행 할 수 있으며, 표면 결함 및 기타 이상을 검사 할 수 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION P/N 002-7391-08은 설치가 쉽고 안정적입니다. 주요 부품은 부식 내성 스테인레스 스틸로 만들어집니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 운송 중 조롱, 진동 및 기타 손상 원으로부터 웨이퍼를 보호하도록 설계되었습니다. 또한, 자산은 매우 정확하며 과잉 토크 보호 (over-torque protection) 및 공구 충돌 탐지 (tooling collision detection) 와 같은 많은 안전 기능을 통합합니다. 전반적으로, BROOKS P/N 002-7391-08은 반도체 제조 플랜트의 처리량을 최적화하고 시간 소모적인 수동 웨이퍼 처리 작업을 줄이기 위해 설계된 경제적이고 안정적인 웨이퍼 처리 모델입니다. 이 제품은 정확한 모션 제어 (motion control) 와 정확한 웨이퍼 정렬 및 검사를 위한 통합 비전 장비를 제공합니다. 이 시스템은 설치가 쉽고, 효율적이고, 안정적이며, 대용량 운영 환경에 적합한 솔루션입니다.