판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION MX 700 #89978

BROOKS/PRI AUTOMATION MX 700은 반도체 생산 응용 프로그램을 위해 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 가장 까다로운 환경에서 높은 처리량, 낮은 주기, 안정적인 작동이 가능합니다. 이 자동 웨이퍼 핸들러 (Automated Wafer Handler) 는 용량 증대 또는 프로세스 요구사항을 변화시킬 때 유연성을 극대화할 수 있는 모듈식 설계로 구성됩니다. 이 시스템의 핵심에는 자동 웨이퍼 처리 장치가 있습니다. 이 기계 는 정밀도 와 신뢰성 을 가지고 "웨이퍼 '" 카세트' 안팎으로 "웨이퍼 '를 옮길 수 있다. 로봇 암은 고속 서보 모터를 사용하여 빠르고 정확하게 움직입니다. 로봇 암은 고객 요구 사항에 따라 사용자 정의할 수도 있습니다. BROOKS MX 700은 자동화된 광 정렬 및 피드백 인식 기능을 통해 wafer in-line 처리 프로세스를 자동화합니다. 이는 오염의 위험을 줄이고 수동 추측 (manual guising) 및 처리 (handling) 조정에 필요한 시간을 최소화합니다. 또한 자동화를 통해 프로세스의 주기 (cycle) 시간이 단축되어 상당한 시간이 절약됩니다. PRI AUTOMATION MX-700은 웨이퍼 처리 손상을 방지하기 위해 여러 가지 안전 기능을 제공합니다. '안전 (Safety)' 툴이 내장되어 있어 운영자의 손상이 없이 전체 프로세스를 완료할 수 있습니다. 충돌 감지 기능과 조절 가능한 픽업 힘 (pick-up force) 도 웨이퍼에 대한 손상 위험을 줄입니다. PRI AUTOMATION MX 700에는 간편한 프로그래밍, 작업 및 추적을 위해 데이터 로깅이 포함된 사용자 친화적 인 인터페이스가 포함되어 있습니다. 또한 이미지 처리 및 복잡한 기능을 위한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 도 포함되어 있습니다. 이 자산은 데이터 로깅 및 보고 기능을 통해 전체 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. MX 700 웨이퍼 핸들러는 광범위한 웨이퍼 처리 프로세스에 적합한 자동 모델입니다. 고객의 요구 사항에 따라 손쉽게 사용할 수 있는 장비로 고성능, 안정성, 안전성 (Safety) 기능을 제공하도록 설계되었습니다.