판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION MX 600 #79344

BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600은 반도체 제작, 사진 해설학, 항공 우주 부품 등 매우 깨끗한 생산 어플리케이션을 위해 특별히 설계된 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 브룩스 MX 600 (BROOKS MX 600) 은 가장 연약한 웨이퍼조차도 처리 할 수 있으며, 가장 깨끗하고 효율적인 방식으로 웨이퍼 기판을 정확하고 안전하게 운송 할 수 있습니다. PRI AUTOMATION MX 600 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 일반적으로 제조 및 사진 분석 프로세스에 사용되는 웨이퍼 기판에 대해 일관성이 높은 전송 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 통합 장비 (Integrated Equipment) 는 작업을 처리하는 동안 동작 및 정렬 오류를 동시에 줄이면서 오염을 줄이기 위해 설계되었습니다. MX 600 은 뛰어난 반복성, 정확성, 성능을 제공하도록 설계되어, 정밀 처리 작업에 의존하는 운영 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600 웨이퍼 핸들러는 상하 웨이퍼 운송 단계, 상하 운송 단계 그래버, 상하 운송 암, 압력 판 및 높이 조정 메커니즘으로 구성됩니다. 다양한 크기의 웨이퍼 기판을 처리하고 운송 단계에서 슬립 (slip) 과 채터 (chatter) 를 크게 줄일 수있는 벡터 기반 피드 시스템이 특징입니다. 또한 BROOKS MX 600 은 이중 독립형 고속 서보 드라이브를 통해 빠르고 정확한 처리, 효율성 최적화, 다운타임 최소화를 지원합니다. 또한 PRI AUTOMATION MX 600은 강력한 기계적 기능 외에도, 정확성을 보장하고 성능을 최적화하는 여러 가지 통합 전자 기능을 제공합니다. MX 600에는 절대 인코더 (absolute encoder) 가 있어 드라이브와 전송 암 사이의 정확한 위치 정보를 전송할 수 있습니다. 이렇게 하면, 수송기 를 따라 "웨이퍼 '의 위치 를 정확 하게 결정 할 수 있다. 추가 통합 기능에는 자동 웨이퍼 중심, 웨이퍼 오류 감지 및 최적의 입자 제어를 용이하게하는 BROOKS VAS (Vacuum Access Unit) 와의 통합이 포함됩니다. BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600은 매우 깨끗한 프로덕션 어플리케이션에서 작동하도록 최적화되었습니다. 모든 노출 된 표면은 최대 입자 제어 (particle control) 를 제공하도록 설계되었으며, 기계적 움직임은 작동 중 환경 영향을 최소화하기 위해 주변 환경에서 분리되었습니다. 브룩스 MX 600 (BROOKS MX 600) 은 6 축 처리 작업을 수행할 수 있으므로 다용도가 높으며 다양한 운영 시스템에 통합 할 수 있습니다. 또한 CE 및 RoHS 인증을 받았으며, 해당 제품이 모든 적용 가능한 안전 및 환경 규정을 충족하도록 보장합니다. 전반적으로 PRI AUTOMATION MX 600 웨이퍼 핸들러는 매우 깨끗한 프로덕션 어플리케이션에서 웨이퍼 처리를 위한 고급 솔루션입니다. 정밀하고 일관된 처리 성능을 제공할 수 있으며, 전송 단계에서 오염, 동작, 정렬 (alignment) 오류를 현저히 줄일 수 있습니다. MX 600 (MX 600) 은 연약한 웨이퍼 기판의 신뢰할 수있는 전송에 의존하는 생산 프로세스에 이상적인 기계입니다.