판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9113603

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5 Wafer Handler는 반도체, 디스크 드라이브 및 기타 관련 산업에 사용되는 고정밀 장비입니다. 공정 챔버 사이에 실리콘 웨이퍼를 정확하고 빠르게 이동 및 배치하도록 설계되었습니다. 검사 (Inspection) 창에는 운영자가 챔버에 들어가기 전에 웨이퍼 (Wafer) 의 정렬을 두 번 확인할 수 있는 검사 창이 있습니다. BROOKS MTR 5는 3D 로터리 다이얼 및 정전 식 터치 슬라이더 컨트롤을 포함하는 멀티 터치 컨트롤러와 함께 작동합니다. 여기에는 2 개의 정밀 선형 가이드와 높은 반복 성과 위치 정확도를 가진 사전 정렬 장비가 포함됩니다. 자동 작동 제어 시스템 (Automated Operator-Control System) 과 연동된 이러한 기능을 통해 장비는 Wafer 를 프로세스 챔버 (Process Chamber) 로 정확하고 일관되게 이동하여 처리량을 높이고 수동 처리 오류로 인한 다운타임을 없앨 수 있습니다. PRI AUTOMATION MTR5 (PRI AUTOMATION MTR5) 는 최대 32 개의 서로 다른 웨이퍼 정렬 높이와 픽업 포인트로 프로그래밍할 수 있으므로 여러 웨이퍼 크기를 처리 할 때 매우 유연합니다. 최대 웨이퍼 직경은 200mm, 웨이퍼 플랫폼 크기는 305mm입니다. 웨이퍼 핸들러는 다른 MTR 시리즈 웨이퍼 프로세스 액세서리와 결합하여 고도로 기능적인 웨이퍼 처리 (wafer handling) 및 프로세스 도구 장치를 만들 수 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5는 단일 장치에서 웨이퍼 전송 및 프로세스 처리를 모두 위해 설계되었습니다. 여기에는 웨이퍼 암 (wafer arm), 모바일 로봇 (mobile robot) 및 기계 제어 (machine control) 가 포함되어 있습니다. 웨이퍼 픽업 (wafer pickup) 및 배송 (delivery) 은 로드 포트를 통해 이루어지며, 외부 잠금 도구로 고정됩니다. PRI AUTOMATION MTR 5 (PRI AUTOMATION MTR 5) 에는 프로그래밍 가능한 진공 펌프가 장착되어 있어 로딩 포트에 도달하기 전에 웨이퍼를 미리 진공 청소하여 처리 시간을 단축합니다. BROOKS MTR5 는 독보적인 자체 슬라이드 설계를 통해 유지 보수 기간 동안 챔버에 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. 더 높은 수준의 안전을 보장하기 위해, MTR5 에는 웨이퍼 (Wafer) 처리 자산의 모든 로봇을 중지하는 중앙 집중식 안전 스위치 (Safety Switch) 가 포함되어 있습니다. 이 추가 기능은 안전하고 효율적인 방법으로 생산성과 프로세스 능력을 향상시킵니다. 이 자동 연산자 지원 로봇 웨이퍼 핸들러 (robotic wafer handler) 는 최소한의 연산자에 영향을 미치는 프로세스 챔버의 문제 없는 작동을 허용하도록 설계되었습니다.