판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9111006

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5는 사용자에게 다양한 웨이퍼 처리 작업을 수행 할 수있는 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 핸들러는 25mm ~ 300mm의 웨이퍼 직경과 최대 10mm (wafer thickness) 의 웨이퍼 두께 처리 기능에 적합합니다. 이 장비는 고급 CCD (charge-coupled device) 비전 시스템과 로봇 암을 결합하여 웨이퍼의 정밀 정렬 및 위치를 설정할 수 있습니다. 이 처리기는 PRI 또는 BROOKS Ambassador 프런트엔드 프로세서와 통합할 수 있으며 추가 모듈 옵션이 있습니다. 고급 패턴 인식이 필요한 작업의 경우 WAA (Wafer Alignment Devaratus) 모듈을 추가할 수 있습니다. 이 모듈은 대부분의 웨이퍼 (wafer) 에 존재하는 다양한 정렬 표시를 식별, 확인, 처리하기 위해 특별히 설계되었습니다. 장치 내의 컨베이어 벨트 (Conveyor belt) 는 로봇 핸들러의 제품 영역 내에서 웨이퍼를 이동하며, 필요한 곳에서 웨이퍼를 정확하게 찾습니다. 운송 장치는 최대 600mm/s 속도에 도달하여 짧은 시간 안에 높은 전송을 가능하게합니다. 컨베이어 (conveyor) 는 또한 역전기적 영향으로부터 웨이퍼를 보호하는 항 정적 기능을 특징으로합니다. 처리기는 하나의 대형 (large-format) 카메라를 사용하여 최종 사용자에게 상세한 이미지를 제공합니다. 이 이미지는 패턴 정렬 표시 (pattern alignment mark) 또는 바코드 읽기에 사용됩니다. 따라서 수동 검사 (manual inspection) 과정에서 귀중한 시간을 절약할 수 있습니다. 즉, 사용자가 위치 지정 (positioning) 과 방향 (orientation) 을 확인하기 위해 더 이상 웨이퍼를 시각적으로 검사하지 않아도 됩니다. 핸들러의 제어 기계는 4 개의 터치 스크린 모니터로 둘러싸인 Beckhoff PLC로 구성됩니다. 사용자 인터페이스 (user interface) 는 직관적이며, 광범위한 매개변수를 제공하여 핸들러의 동작을 사용자 정의합니다. 운영 조건은 로봇 이동이 맞춤형 한계 내에 유지되도록 설정할 수 있습니다. 메모리에 PROGRAM (PROGRAM) 을 저장할 수 있으며, 사용자는 공통 웨이퍼 처리 작업을 위해 프로그램에 신속하게 액세스하고 실행할 수 있습니다. 또한 브룩스 MTR 5 (BROOKS MTR 5) 는 다른 장비 및 컨트롤러 네트워크와 직접 연결될 수 있으며, 이를 통해 장치와 외부 소스 간의 신속한 DAT 교환 및 통신이 가능합니다. 따라서 효율적인 데이터 공유 및 도구 모니터링이 가능합니다. 강력한 기술 기능과 함께 PRI AUTOMATION MTR5 (PRI AUTOMATION MTR5) 를 최고의 자동 웨이퍼 핸들러 중 하나로 인식하는 이유를 쉽게 알 수 있습니다.