판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064565

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5는 리소그래피 및 박막 증착 프로세스에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 브룩스 MTR 5 (BROOKS MTR 5) 는 단일 또는 다중 웨이퍼를 정확하게 포지셔닝 및 전송할 수있는 정밀 도구입니다. PRI AUTOMATION MTR5는 직경이 최대 5 ", 두께가 0.3" 인 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 한 번에 최대 3 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. PRI AUTOMATION MTR 5는 개방형 프레임 아키텍처를 기반으로 하며, 운영 장비가 내장되어 있습니다. 시스템은 컨트롤러 장치, 입력 인터페이스, 로우 레벨 제어 모듈, 모터 드라이버로 구성됩니다. 각 구성 요소는 서로 상호 작용하고 장치 (unit) 에 필요한 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 컨트롤러 장치는 BROOKS MTR5 작동을 담당합니다. 4 축 Joystick 컨트롤러, Wafer X 및 Y 테이블 및 스티어링 휠로 구성됩니다. 컨트롤러의 입력은 wafer 테이블의 움직임을 제어하는 데 사용됩니다. 입력 인터페이스는 키보드 및 트랙볼이 있는 터치 스크린 인터페이스입니다. 이렇게 하면 사용자가 자동화된 프로세스를 설정하고, 시스템의 매개변수를 변경할 수 있습니다. 또한 컨트롤러는 로우 레벨 제어 모듈 (Low Level Control Module) 의 입력을 받습니다. 이 모듈은 웨이퍼 핸들러의 실시간 제어를 담당합니다. 이 모듈을 사용하여 웨이퍼 크기, 웨이퍼 동작 속도, 웨이퍼 처리 클램핑 힘, 위치 정확도, 웨이퍼 전송 속도, 웨이퍼 처리 타이밍 정확도와 같은 매개변수를 지정할 수 있습니다. 모터 드라이버 (motor driver) 는 공구의 최종 조각이며, 실제로 웨이퍼를 이동하고 처리를 위해 배치하는 장치입니다. 스테퍼 모터, 디지털 축 컨트롤러 및 드라이브 벨트로 구성됩니다. 디지털 축 컨트롤러 (Digital axis controller) 는 모터의 실시간 제어를 담당하는 반면, 스테퍼 모터 (stepper motor) 는 웨이퍼의 정밀 위치 및 이동에 사용됩니다. 드라이브 벨트는 원하는 경로를 따라 웨이퍼를 이동합니다. MTR 5는 매우 정확한 웨이퍼 포지셔닝 및 전송을 제공하는 고성능 자산입니다. 단거리에서 고속, 정확한 웨이퍼 (wafer) 전송이 가능하도록 설계되어 반도체 생산에 이상적입니다. 이 모델은 한 번에 여러 개의 웨이퍼 (wafer) 를 지원할 수 있으며, 필요한 제어 및 안전 검사 (control and safety check) 를 제공하여 생산 중에 웨이퍼가 안전하게 처리되도록 합니다. BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5 는 안정적이고 효율적인 장비로, 웨이퍼 프로세싱의 효율성과 처리량을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다.