판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064563

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5 Wafer Handler는 반도체 산업에서 반도체 웨이퍼를 정확하게 운송, 위치 지정, 정렬 및 삽입하는 데 사용되는 고급 로봇 처리 장비입니다. 자동으로 웨이퍼 뚜껑을 로드하고 트레이, 컨테이너, 튜브, 웨이퍼 상자에 포장하도록 프로그래밍됩니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 원하는 위치에 웨이퍼를 운송하고 배치하기 위해 고급 로봇 공학이 장착되어 있습니다. 5 개의 동작 축이 특징이며, 정확한 정렬과 빠른 속도로 둥글고 평평한 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 로봇의 팔은 2 개의 선형 단계와 3 개의 회전 단계를 사용하여 웨이퍼를 정확하게 이동하고 배치합니다. 최대 4 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수도 있습니다. BROOKS MTR 5 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 웨이퍼를 정확하게 배치하고 정렬할 수 있는 정확한 선택 및 배치 도구도 제공합니다. 픽앤플레이스 (pick and place) 도구는 지름 감지 축을 가진 2 개의 진공 패드를 사용하여 웨이퍼를 찾아 선택할 때 정확한 정확도를 제공합니다. 또한 자동 정렬 메커니즘을 사용하여 웨이퍼를 로드 또는 언로드할 때 정밀도를 높일 수 있습니다. 로봇 기능 외에도 PRI AUTOMATION MTR5 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스가 장착되어 있어 운영자가 자동 레시피로 웨이퍼 핸들러를 프로그래밍 할 수 있습니다. 레시피 프로그래밍은 프로세스가 효율적이고 반복 가능하도록 도와줍니다. 이 인터페이스는 또한 처리 중인 웨이퍼의 현재 상태를 보여 주는 직관적인 대시보드 (직관적인) 를 표시하며, 필요한 경우 운영자에게 레시피를 일시 중지, 중지 또는 변경할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한 MTR 5 Wafer Handler는 타사 장비를 지원하여 다른 산업 생산 라인과의 유연성과 호환성을 향상시킵니다. 또한 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 시력 시스템이 제공되므로 실시간 오류 수정이 가능하므로 장치 조정 또는 수동 검사 (Manual Inspection) 가 필요하지 않습니다. MTR5 웨이퍼 핸들러 (MTR5 Wafer Handler) 는 반도체 웨이퍼에 안전하고 효율적인 처리 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 내구성이 뛰어난 부품으로 제작된 신뢰성 있고 견고한 머신 (machine) 으로, 반도체 업계의 응용프로그램을 위한 정확하고 반복 가능한 도구를 제공합니다. 고급 기능, 직관적인 프로그래밍, 정확성, 유연성 등을 통해 효율성을 극대화하고 생산성을 극대화할 수 있는 모든 생산 설비를 선택할 수 있습니다 (영문).