판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064562

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5는 웨이퍼 정렬, 완벽한 진공 보류 및 빠른 웨이퍼 스와핑이 필요한 고정밀 어플리케이션을 위해 설계된 일종 웨이퍼 핸들러입니다. 완전 통합 된 5 축 짐벌 스타일 플랫폼을 특징으로하며 웨이퍼 도량형 (Wafer Metrology) 및 광학 시스템과 상호 작용하도록 설계되었습니다. 이 로봇 장비 (robotic equipment) 는 다양한 응용프로그램을 위한 광범위한 구성으로 단계 및 반복 기능, 기울기 기능, 고도를 제공합니다. 특허받은 정렬 프리즘 (prism) 과 3 차원 비전 시스템 (vision system) 을 모두 활용하여 모든 유형의 웨이퍼의 정확하고 반복 가능한 배치를 보장합니다. BROOKS MTR 5 웨이퍼 핸들러는 로봇, 웨이퍼 홀더 및 진공 챔버의 3 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 로봇은 매우 반복 가능하고 정확하며, 정확하고 정확한 모션 제어 (motion control) 이동이 가능하도록 제작되었습니다. 최대 속도는 초당 최대 60 ° 이며 위치 정확도는 40 미크론 이내입니다. 로봇에는 ESD 보호, 공압, 광학 센서, 환경 제어 등 다양한 외부 액세서리가 장착되어 있습니다. PRI AUTOMATION MTR5의 VHS (Vacuum Handling Unit) 에는 다이 픽업 및 정렬을위한 전동 이중 영역 진공 챔버가 포함되어 있습니다. VHS는 웨이퍼 중심에서 0.5mm 반경 내에서 정확한 회전 및 다이 정렬을 달성 할 수 있습니다. 흡기 챔버 (intake chamber) 에는 최적의 흡입을 보장하기 위해 개별 웨이퍼 크기에 최적화된 몇 가지 노즐이 포함되어 있습니다. 전송 중 웨이퍼를 보유하는 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 는 응용 프로그램 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 다른 작업에 대해 웨이퍼 홀더를 빠르게 변경할 수 있습니다. 마지막으로, BROOKS MTR5는 S6 Edge Controller와 함께 제공되며, S6 Edge Controller는 시퀀스 프로그래밍, HMI 및 사용자 인터페이스, 온라인 프로세스 제어를 포함하는 완전 통합 드라이브/제어 머신을 갖추고 있습니다. 사용자 친화적 인 터치스크린은 로봇의 작동을 크게 단순화하고, 원활한 작동 및 프로세스 제어를 용이하게 합니다.