판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #178989
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ID: 178989
Vacuum robot and arm set
Arm set configured with 8" wafer end-effectors
(1) end-effector: Kalrez pads, stainess steel pads for >300C hot wafer handling.
BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5는 웨이퍼 로딩, 테스트 및 배송 작업을 조정하도록 설계된 고속, 고정밀 웨이퍼 핸들러입니다. 직관적인 연산자 인터페이스, 강력한 서보 제어 이동, 기타 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 브룩스 MTR 5 (BROOKS MTR 5) 는 완전 자동화된 다이 피킹 장비를 사용하여 분당 최대 100 조각의 속도에 도달 할 수 있으며 빠르고 정확한 웨이퍼 처리를 지원합니다. 이 시스템은 매우 정확하여 0.3mm +/- 의 엄격한 내성을 허용합니다. 피커 이동은 서보 제어 (servo-controlled) 방식으로, 두 개의 독립적으로 포지셔닝 할 수있는 고정밀 크로스 롤러와 중앙 지원 플레이트를 사용합니다. 이 배열은 높은 수준의 유연성과 정밀성, 그리고 웨이퍼를 처리 할 때 더 큰 안정성을 제공합니다. PRI AUTOMATION MTR5에는 웨이퍼의 로드, 테스트, 배송을 제어하고 모니터링하는 다양한 자동 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 센서 제어 다이 정렬, 적응 다이 배치, 이중 위치 정렬, 선택적 다이 초기화 및 자동 급지가 포함됩니다. 각 작업은 PC 기반 운영 장치 및 EtherNet/IP 진단 모듈이 장착 된 Allen Bradley 컨트롤에 의해 모니터링됩니다. 이를 통해 실시간 성능 피드백 및 신속한 장애 감지가 가능합니다. MTR5는 견고하고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 구성 요소는 최대 가동 시간을 위해 설계되었으며 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 전체 기계는 견고하고, 분말 코팅, 압출 된 알루미늄 프레임 (aluminum frame) 을 기반으로 만들어졌으며, 접지 필요성은 제거했을 뿐만 아니라 안정성과 지원이 향상되었습니다. 벨트 드라이브 (Belt Drive) 도구는 내구성 및 신뢰성 향상을 위해 최대 1200 ° F까지 열처리되는 고급 강철로 제작되었습니다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5는 취급 및 드라이브 기능을 모두 위해 강력하고 효율적인 공기 자산을 갖추고 있습니다. 이 효율적이고 조용한 공기 모델은 유지 보수 비용을 더욱 절감하여 BROOKS MTR5 를 매우 경제적으로 만듭니다. 마지막으로, 장비에는 다이 핸들러 (Die Handler) 와의 우발적 접촉을 방지하고, 운영자와 제품을 모두 보호하는 고급 안전 (Safety) 인터 록이 장착되어 있습니다. PRI AUTOMATION MTR 5는 속도, 정밀, 안전 및 신뢰성을 제공하는 올인원 웨이퍼 처리 시스템입니다. 컴퓨터화된 컨트롤, 직관적인 사용자 인터페이스, 고급 안전 기능으로 인해 모든 wafer loading, testing 또는 shipping 작업에 이상적인 선택이 가능합니다.
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