판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #121470

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5는 프로세스 챔버에서 웨이퍼 로드 및 언로드, 검사 시스템으로 웨이퍼 전송, 다른 도구 모듈 간에 웨이퍼 프레임 전송과 같은 웨이퍼 처리에 사용하기 위해 만들어진 단일 웨이퍼 핸들러입니다. 브룩스 MTR 5 (BROOKS MTR 5) 는 일련의 동력 단계에 의존하는 로봇 기반 시스템으로, 의도한 기능을 수행하기 위해 인간 팔과 마찬가지로 순간적으로 움직입니다. 다중 축 동작은 유연하게 정의된 공간에서 여러 작업을 수행하는 데 특히 적합합니다. 선형 드라이브 (Linear Drive), 다양한 센서 (Sensor) 와 같은 여러 가지 최첨단 기술을 사용하여 정확하고 안정적인 동작을 보장합니다. 모션 컨트롤러도 동적이고 신뢰할 수있는 작동을 허용합니다. PRI AUTOMATION MTR5는 다양한 웨이퍼 프레임과 호환되도록 설계되었으며, 빠른 웨이퍼 정렬, 로드 및 언로드를 위해 최대 5 개의 카세트 크기를 처리 할 수 있습니다. 모듈식 (modular) 설계로 인해 필요에 따라 다양한 기능을 추가 또는 제거 할 수 있습니다. 여기에는 핫 스왑 가능한 카세트, 여러 스테이션 정류장, 자동 정지 기능 및 이중 그리퍼 작업이 포함됩니다. 사용자 인터페이스를 통해 MTR 5 는 특히 사용하기 쉽고, 다양한 수준의 제어 (control) 를 통해 다양한 작업 및 시퀀스를 설정할 수 있습니다. 사용자 정의 시퀀스 (Custom sequence) 를 프로그래밍하여 특정 작업 수행 방법을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 또한 로봇의 컨트롤러 (controller) 를 사용하면 이동의 속도와 가속을 구성할 수 있으며, 다양한 모니터링/문제 해결 툴을 통해 웨이퍼 (wafer) 처리 작업의 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다. MTR5에는 안전하고 안정적인 웨이퍼 처리를 보장하는 다양한 추가 기능이 있습니다. 여기에는 공중 입자 제어, 빠른 종료 연산자 및 제어, E-Stop 센서 및 내장 충돌 탐지가 포함됩니다. 이 시스템은 공구 안전 모니터링 (Tool Safety Monitoring) 도 제공하며, 공구가 손상되거나 수명이 끝날 때 감지할 수 있습니다. 전반적으로, BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5는 웨이퍼 처리 및 전송 프로세스를 단순화하도록 설계된 고급, 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 모듈식 설계, 사용자 친화적 인터페이스, 포괄적인 안전 모니터링 시스템 (Safety Monitor System) 은 다양한 운영 요구 사항과 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다.