판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION M1900 #293607356
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ID: 293607356
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2017
Wafer stocker, 12"
CIM: Class
(2) KUKA Handler robots
OHT
Manual Load Port
Temperature controller
XCDA
2017 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION M1900은 반도체 업계의 가장 정확한 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 모듈식 웨이퍼 핸들러입니다. 신뢰할 수있는 에어 베어링 드라이브 시스템을 갖춘 BROOKS M1900 (BROOKS M1900) 은 웨이퍼 로드/언로드 및 프로세스 스테이션 간의 빠르고 정확한 전환을 제공합니다. PRI AUTOMATION M1900 (PRI AUTOMATION M1900) 은 유연한 웨이퍼 챔버 설계로 인해 다양한 크기의 여러 웨이퍼를 보유 할 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 복잡한 도구 구성, 신속한 전환, 최고의 처리량 성능을 구현할 수 있습니다. M1900의 인체 공학적 (ergonomic) 설계는 사용자 피로를 최소화하고 유지 보수 및 서비스를 위해 부품을 쉽게 액세스할 수 있도록 해줍니다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION M1900은 기계 및 전기 기능을 모두 지원하는 고급 제어 기술을 갖추고 있습니다. 고급 웨이퍼 ID 인식 (advanced wafer ID recognition) 및 자동 벨트 끝 (end-of-belt) 보정과 같은 전기 기능은 직관적인 메뉴 기반 터치 스크린 인터페이스로 제어됩니다. 온보드 진단 및 품질 제어 검사는 높은 정확성과 안정성을 보장합니다. 강력하고 신뢰할 수있는 공기용 드라이브 시스템을 갖춘 BROOKS M1900 (M1900) 은 장거리 횡단 기능을 갖추고 있습니다. 여러 프로세스 간에 "웨이퍼" 를 빠르게 이동하는 기능은 최적의 처리량을 달성하는 데 필수적입니다. 이 기능은 충돌을 피하고 원활한 작동을 유지하기 위해 자동으로 움직임을 모니터링, 수정하는 스마트 센서 (Smart Sensor) 로 더욱 향상되었습니다. PRI AUTOMATION M1900은 반도체 웨이퍼 제조 프로세스 내에서 재료를 제어하는 데 이상적입니다. 첨단 제어 기술과 내구성 에어베어링 (air-bearing) 드라이브 시스템을 갖춘 M1900은 탁월한 성능과 탁월한 비용 가치를 제공합니다. 유연성과 내구성을 통해 원활하고 안정적인 운영, 뛰어난 성능을 보장합니다.
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