판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION M 600 #121468

BROOKS/PRI AUTOMATION M 600 Wafer Handler는 연약한 반도체 웨이퍼를 빠르고 정확하게 정렬 및 처리 할 수 있도록 설계된 정밀 자동화 장비입니다. 이 시스템은 카세트에서 웨이퍼 정렬, 회전, 정렬, 픽업, 가공 공구에서 웨이퍼 전송, 위치 지정, 보호 호일 여러 레이어 자동 적용, 보정 등 다양한 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 모듈 식 구조로 설계되었으며, 회전 처리 로봇 한 쌍, 로봇 암 2 개, 웨이퍼 전송 및 배치 기계 (wafer transfer and placement machine) 가있는 기지국을 갖추고 있습니다. 두 개 의 취급 "로봇 '은 두 개 의 독립 구동 진공" 픽업' 을 갖추고 있어서, 가장 가까운 공차 로 "웨이퍼 '를 신속 히 적재 하고 언로드 할 수 있다. 두 개 의 "로봇 '암 은 완전 한 정확성 과 안정성 을 가지고 움직 이며, 환승" 스테이션' 과 공작기 주위 의 "웨이퍼 '를 배치 하고 회전 시키고 이동 시킨다. 웨이퍼 전송 정렬 도구 (wafer transfer alignment tool) 는 모든 웨이퍼가 가공 공구에 배치되기 전에 정확하게 정렬되도록 하는 반면, 웨이퍼 보호 에셋 (wafer protective asset) 은 전송 스테이션을 통과한 후 각 웨이퍼에 내구성 접착 필름 코팅을 자동으로 적용합니다. 브룩스 M 600 웨이퍼 핸들러 (BROOKS M 600 Wafer Handler) 는 직관적 인 사용자 인터페이스와 함께 제공되며, 사용하기 편리하도록 인체 공학적 설계를 갖추고 있습니다. 자동 유지 관리 (automated maintenance), 원격 제어 (remote control) 등 다양한 옵션을 통해 운영 효율성을 높일 수 있습니다. 이 모델은 200mm ~ 300mm 크기의 다양한 웨이퍼 크기와 호환되며, 클린 룸 이동 프로토콜을 엄격히 준수하는 클린 룸 (cleanroom) 용도로 인증되었습니다. 전반적으로 PRI AUTOMATION M 600 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 광범위한 제조 요구에 맞게 설계된 안정적이고 정확하며 효율적인 자동화 장비입니다. 신속하고 간편한 운영, 최소한의 유지 보수 (maintenance) 요구 사항으로, 다양한 애플리케이션에 귀중한 지원을 제공합니다.