판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION GT 9000 #140339
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ID: 140339
빈티지: 2007
Automated dispenser
ALLEN BRADLEY controls
FISHMAN stabilizing kits
Case of dispense accessories
Cables and cords
Manual with assembly and inspection software
Enclosed platform with fishman dispensing guns and HMI control panel
Power: 110-230v 50/60Hz 15a 1ph/n/pe, sccr 300a
2007 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION GT 9000은 BROOKS의 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 제작 프로세스에 사용되는 프로세스 도구입니다. BROOKS GT 9000은 카세트-카세트 연산에 사용되며, 반도체 기판 취급을위한 지속적인 프로세스를 제공합니다. PRI AUTOMATION GT 9000에는 기본 프레임, 모터 어셈블리 및 스캐너가 포함 된 모듈식 디자인이 있습니다. 베이스 프레임 (base frame) 은 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 공구에 강력하고 안정적인 구조를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 자동 (auto) 에서 수동 (manual) 모드로 전환하기 쉽고 부드럽게 설계되었습니다. 모터 어셈블리에는 컨트롤러, 모터, 드라이브 시스템 및 기본 프레임에 장착 된 비전 시스템이 포함됩니다. 비전 시스템은 이동 및 이동 (pick-and-place) 작업 중에 웨이퍼를 검사하는 데 사용됩니다. GT 9000 은 200mm 및 300mm 웨이퍼와 함께 사용하도록 설계되었으며, 고객의 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 구성할 수 있습니다. 와퍼 (Wafer) 자동차 취급 시스템은 스캐닝 (Scanning) 및 비전 (Vision) 기술이 적용되어 전송 단계마다 실시간 프로세스 정보를 제공합니다. BROOKS/PRI AUTOMATION GT 9000에는 복잡한 프로그래밍 없이 웨이퍼를 정렬 및 전송 할 수있는 Sorter Station 및 Drop Station 옵션도 있습니다. BROOKS GT 9000은 사용 및 구성이 간단합니다. 프로세스를 설정하기 위해 복잡한 프로그래밍이 필요하지 않습니다. 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 프로세스에 필요한 컴포넌트를 쉽게 선택할 수 있습니다. PRI AUTOMATION GT 9000에는 웨이퍼 손상 위험을 줄이기 위해 안전 기능이 내장되어 있습니다. 또한 긴급 정지 기능이 내장되어 있어 다운타임을 최소화할 수 있습니다. GT 9000은 안정적이고 효율적이며 비용 효율적인 웨이퍼 처리기입니다. 이 제품은 자동화된 프로세스에 대한 가장 까다로운 고객 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 통합 비전 및 스캐닝 시스템은 정확하고 실시간 프로세스 정보를 제공하는 반면, 모듈식 설계와 직관적인 사용자 인터페이스는 BROOKS/PRI AUTOMATION GT 9000 을 쉽게 사용하고 구성할 수 있습니다.
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