판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION Fixload 25 #9392799

BROOKS/PRI AUTOMATION Fixload 25는 고급 완전 자동화 웨이퍼 핸들러입니다. 원자로나 용광로, 에칭 (etching), 증착실 (deposition chamber) 과 같은 기타 웨이퍼 관련 장비에 규소 웨이퍼를 빠르고 정확하게 적재 할 수 있도록 고속, 업계 수준의 로봇 기술을 통합하여 손상 위험을 최소화합니다. BROOKS Fixload 25는 다양한 웨이퍼 크기, 모양, 재료를 빠르고 정확하게 전송하고 적재 할 수 있으며, 매 시간마다 최대 30 개의 웨이퍼/프로세스가 형성되고 적재됩니다. 2 개의 로드 접촉 지점과 3 개의 웨이퍼 위치 확인 방법 (카메라, 광선 감지 및 기계식 접촉 감지) 이 있습니다. 또한, 장비는 웨이퍼 변형 (wafer variations) 이나 오열로 인한 모든 움직임을 자동으로 보상하여 웨이퍼의 손상을 방지합니다. PRI AUTOMATION Fixload 25에는 전용 비전 시스템 카메라가 포함되어 있으며, 이 카메라는 고화질 이미징을 사용하여 웨이퍼 위치, 크기, 모양을 정확하게 감지하고 검증합니다. 따라서 수작업 (manual intervention) 의 필요성이 없어지고 웨이퍼 (wafer) 포지셔닝 정확성 측면에서 높은 신뢰성을 제공합니다. 시력 장치는 또한 입자 결함 검지를 포함하여 향상된 웨이퍼 표면 검사 기능을 제공 할 수 있습니다. Fixload 25에는 다상 모듈 식 로봇 플랫폼도 있습니다. 이렇게 하면 유연성이 뛰어난 작업 환경을 구축하여 신속한 제품 교체 (Changover) 및 가동 중에도 시스템 구성을 변경할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 사용자 친화적 인 인터페이스와 간단한 포인트 앤 클릭 (point-and-click) 명령으로, 루틴을 빠르고 쉽게 실행할 수 있습니다. 이 도구에는 내장 LoadCell 무게 측정 자산 (LoadCell Weight Measurement Asset) 이 포함되어 있어 웨이퍼 중량 측정과 오버 스태킹을 통한 웨이퍼 손상 방지 기능이 있습니다. 이 모델은 또한 웨이퍼 로딩 힘 및 위치에 대한 실시간 제어 및 피드백 (feedback) 기능을 제공하여 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION Fixload 25는 산업용으로 설계되었으며 CE 인증을 받아 기존 생산 라인에 통합됩니다. 따라서 대용량 웨이퍼 로드 (wafer loading) 작업에 이상적인 솔루션으로 생산성 향상, 비용 절감 효과를 제공합니다.