판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #9399341

ID: 9399341
Loadport Part number: 109752-34.
BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express는 반도체 제작 및 연구 산업의 요구를 충족하도록 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 핸들러입니다. BROOKS FAB Express 로봇 장비는 한 장비에서 다른 장비로 웨이퍼를 처리, 로드, 언로드 및 전송하는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 견고하고 신뢰할 수있는 플랫폼을 기반으로 만들어졌으며 스테인리스 스틸 (stainless steel) 구조, 하이 토크 모터, 자체 청소 와이어 가이드, 직렬 통신 및 웨이퍼의 정밀 정렬을위한 고급 비전 기술 (advanced vision technology) 을 갖추고 있습니다. PRI AUTOMATION FAB Express에는 프로그래밍 가능한 로봇 암이 장착되어 있으며, 최대 +/- 7 미크론 정확도 내에서 웨이퍼를 배치 할 수 있습니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 360도 회전 내에서 웨이퍼 (wafer) 를 이동할 수 있으므로 웨이퍼 처리 작업에서 높은 반복성과 정확성을 허용합니다. 로봇은 다양한 운영 환경에서 일관된 성능, 견고한 운영, 향상된 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. FAB 익스프레스 (FAB Express) 는 고급 비전 기술을 사용하여 이전 전에 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이 장치는 웨이퍼 (wafer) 오류를 감지하고 인식하는 동시에 손상 처리의 위험도 줄여줍니다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express는 완전한 연동 보호를 제공하며 화학 및 유해 물질 처리 작업에 통합 될 수 있습니다. 사용 편의성을 위해, 브룩스 FAB 익스프레스 (BROOKS FAB Express) 로봇 머신은 원격 위치에 배치될 수 있으며, 단일 제어 지점 (point of control) 은 전체 도구의 작동 범위를 프로그래밍하고 관리하는 데 사용됩니다. 에셋에는 웨이퍼 처리 작업을 제어하고 모니터링하기 위한 사용자 친화적 GUI (Graphical User Interface) 가 제공됩니다. 응용 프로그램 인터페이스는 핸드-헬드 (hand-held) 원격 제어 장치 (remote control unit) 또는 이더넷 케이블 (Ethernet cable) 을 통해 모델에 연결된 컴퓨터에서 액세스할 수 있습니다. PRI AUTOMATION FAB Express는 저렴한 비용, 사용하기 쉬운 기능, 안전한 작동으로 인해 Clearroom 환경에 이상적인 기계입니다. 이 장비는 웨이퍼 처리, 로드, 언로드, 클리닝, 스태킹, 정렬에 이르기까지 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 또한, 고급 비전 (Advanced Vision) 기술이 시스템에 포함되어 있어 뛰어난 성능과 정확한 웨이퍼 정렬이 가능합니다. 이러한 포괄적이고 안정적인 기능을 갖춘 FAB 익스프레스 (FAB Express) 는 청소실 설정에서 웨이퍼 처리 및 전송을 위한 탁월한 선택입니다.
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