판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #9281243

BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express는 대용량, 하이믹스 반도체 시설을 위한 공장 자동화 및 처리량 효율성을 극대화하기 위해 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러는 카세트 카세트-카세트, 카세트-도구 또는 카세트로드 잠금 (cassette-load lock) 전송을 사용하여 프로세스 도구, 카세트 입력 시스템, 로드 잠금 및 테스트 핸들러로의 웨이퍼 전송 및 로드를 자동화합니다. 사용자 정의 웨이퍼 처리 시스템 (Customized Wafer Handling System) 을 설계, 구축하여 화학적 호환성 (Chemical Compatibility) 및 온도 조절 옵션을 갖춘 특정 기관의 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있는 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. BROOKS FAB 익스프레스 (BROOKS FAB Express) 는 유연한 구성과 고급 모션 제어 기능을 통해 처리량을 최적화하고 변경 시간을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 제품은 마이크로 디바이스에서 대형 제품까지 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있으며, 2,000 웨이퍼 용량으로 최대 6,400 웨이퍼/시간을 관리 할 수 있습니다. PRI AUTOMATION FAB Express는 클러스터, 선형, T-bar 구성 등 다양한 사용자의 요구에 맞게 다양한 구성을 제공합니다. FAB Express는 웨이퍼 처리 외에도 진공 웨이퍼 처리, 웨이퍼 방향 제어 (wafer orientation control) 및 사후 청소 (post-cleaning) 작업을 수행하여 높은 수준의 프로세스 제어 및 처리량을 증가시키면서 인간 노동에 대한 의존도를 줄입니다. 또한 정교한 사용자 프로그래밍 툴 (예: Visual Fab 소프트웨어) 과 보안 데이터 전송을 위한 다양한 통신 옵션을 제공합니다. 시스템 유지 관리 및 업그레이드가 쉽고, 백업 기능과 온라인 진단을 이용할 수 있습니다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express는 유지 보수 다운타임을 최소화하여 대용량 애플리케이션에 적합합니다. 내구성과 신뢰성은 다중 실행 및 연장 작업 기간을 지원합니다. 전반적으로, BROOKS FAB Express는 대용량, 하이믹스 반도체 시설을 위한 공장 자동화 및 처리량 효율성을 높이기 위해 설계된 자동 웨이퍼 처리 시스템입니다. 유연한 구성, 고급 모션 제어 (motion control) 기능, 다양한 사용자 프로그래밍 툴, 안전한 데이터 전송을 위한 통신 옵션 등을 제공합니다. 안정성이 높고, 내구성이 뛰어나며, 유지 보수가 용이하며, 온라인 진단 및 백업 기능을 통해 가동 시간을 극대화할 수 있습니다.