판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #9205922
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ID: 9205922
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Loadport, 12"
Accepts up to (3) load ports
P/N: 134081
BROOKS Robot modules:
Wafer presenter / Handling robot with (2) 300mm vacuum-holding wafer arms
Series 8 robot controller
Robot track: Y Axis
Inligner wafer aligner
Teaching pendant
2008 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express 웨이퍼 핸들러는 반도체 및 전자 산업의 까다로운 요구를 충족하도록 설계된 고도의 로봇 장비입니다. 브룩스 FAB 익스프레스 (BROOKS FAB Express) 는 2 인치 ~ 76mm 크기에서 ± 3 미크론의 정확도로 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며, 수평 또는 수직 방향으로 사용할 수 있습니다. 첨단 마이크로프로세서 제어 시스템 (Advanced microprocessor control system) 은 프로세스간에 빠르고 정확한 웨이퍼 전송을 가능하게 하며, 수동으로 웨이퍼를 이동하고 각 웨이퍼를 정확하게 정렬할 필요가 없습니다. PRI AUTOMATION FAB Express (PRI AUTOMATION FAB Express) 는 다양한 업계 표준 형식의 다양한 로드 포트를 갖추고 있어 다양한 웨이퍼 (wafer) 구성을 수용할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이렇게 하면 빠르고 다양한 작업을 수행할 수 있으며, 프로세스 간에 웨이퍼를 이동할 때 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 또한 FAB 익스프레스 (FAB Express) 에는 고급 비전 유닛이 포함되어 있으므로 여러 스테이션 간에 웨이퍼를 정확하게 배치하고 전송할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 직관적이고 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 시스템을 빠르고 쉽게 설치, 구성 및 모니터링할 수 있습니다. 앞면 패널 모니터는 프로세스 상태 (process status) 에 대한 실시간 정보와 주의가 필요할 수 있는 모든 경고에 대한 시각적 표시기 (Visual Indicator) 를 제공합니다. BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express는 또한 고급 자동화 기능을 제공하여 기능을 더욱 향상시키는 포괄적인 도구 라이브러리에서 지원됩니다. 이 라이브러리에는 통합 레시피 관리 도구, 안전한 멀티 레인 전송 기능, 툴 모니터링 등이 포함되어 있습니다. 전반적으로, BROOKS FAB Express 웨이퍼 핸들러는 고도로 고급적이고 신뢰할 수있는 로봇 자산으로, 여러 프로세스 사이에 웨이퍼를 전송할 때 정밀 제어를 제공합니다. 고급 비전 모델 (Advanced Vision Model), 직관적인 사용자 인터페이스, 다용도 로드 포트 (Versicle Load Port) 및 종합적인 도구 라이브러리 (Tool Library) 는 까다로운 웨이퍼 처리 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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