판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #128309

BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express는 반도체 제작 산업의 광석기 공정에 대한 생산 처리량을 높이기 위해 설계된 고급 자동 웨이퍼 핸들러 장비입니다. BROOKS FAB Express는 13.7 미크론의 수평 및 수직 정확도로 8 인치 웨이퍼를 운송하고 배치하는 멀티 축 로봇 암입니다. 정적 위치 정확도는 ± 7.9 미크론이며 카세트 도크 (cassette dock) 에 밀집된 웨이퍼를 밀집적으로 처리 할 수 있습니다. PRI AUTOMATION FAB Express에는 자체 2 축 엔드 이펙터가 있으며, 웨이퍼를 픽업하거나 설정 할 때 17 마이크로 초의 정착 시간이 있습니다. 이 시스템에는 광석기 (photolithographic) 스테퍼, 호스트 컴퓨터 및 기타 기계 요소에 연결하는 온보드 고속 버스가 있습니다. FAB 익스프레스 (FAB Express) 는 버스에서 최대 5000 개의 다른 위치를 저장할 수 있으며 초당 최대 200 회 이 동작을 수행 할 수 있습니다. 또한 이동식 (removable) 연산자 제어판이 있으며, 여기서 사용자는 수동으로 명령이나 새 웨이퍼 좌표를 입력할 수 있습니다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express에는 충돌 및 제품 인식 기능, 전송 중 웨이퍼에 대한 이미지 및 피드백을 캡처하는 통합 비전 유닛, 각 카세트를 감지하고 처리하는 바코드 리더가 있습니다. BROOKS FAB Express의 최대 전송 속도는 3.0 m/s, 최대 가속 5.0 G입니다. 또한 모듈 식 디자인이 특징이며, 따라서 구성 요소가 분리 및 제어 기계에 직접 연결될 수 있습니다. 즉, 제어 툴에 프로그램과 경로를 다시 로드하고 설치/문제 해결을 간소화할 필요가 없으므로 효율성을 높일 수 있습니다. PRI AUTOMATION FAB Express에는 안전 시스템도 장착되어 있습니다. 이 자산은 OSHA 요구 사항을 충족하도록 설계된 것 외에도 European Standards ENORM 14971 및 CE/UL 안전 표준을 준수합니다. 이를 통해 FAB Express는 근로자와 환경에 안전합니다. 요약하면, BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express는 반도체 광석기 공정의 생산 처리량 및 효율성을 높이기 위해 특별히 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 핸들러 모델입니다. 이 장비는 안정적이고 효율적이며 다용도적입니다. 또한 브룩스 FAB 익스프레스 (BROOKS FAB Express) 는 최고의 안전 요구 사항을 충족하며 모든 제조 시설의 요구 사항에 맞는 유연한 기능을 갖추고 있습니다.