판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC 212 #9194536

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC 212 웨이퍼 핸들러는 반도체 예금 및 처리를 위해 설계된 완전 자동화 웨이퍼 처리 시스템입니다. 웨이퍼 핸들러는 직경이 최대 6 인치인 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 웨이퍼 데크, 프로세스 모듈, 웨이퍼 리프트 모듈, 전송 모듈 등 다양한 구성 요소를 포함합니다. "웨이퍼 '갑판 은 갑판 사이 에" 웨이퍼' 를 수송 할 수 있으며, 또한 "웨이퍼 '를 개별 조각 으로 단독 할 수 있어 기판 에 더 큰 표면적 접촉 을 할 수 있다. 이 프로세스 모듈을 사용하면 화학 증기 증착, 스퍼터링, CMP, 리소그래피 등 다양한 프로세스를 자동화할 수 있으며, 처리량을 극대화하고 프로세스 비용을 최소화하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 리프트 모듈 (Wafer Lift Module) 은 전송 모듈에서 프로세스 모듈로 웨이퍼 (Wafer) 전송을 용이하게 하며, 전송 중에 깨지기 쉬운 웨이퍼가 손상되지 않도록 웨이퍼 프레임을 클립할 수도 있습니다. 전송 모듈은 데크 (deck) 와 웨이퍼 데크 (wafer deck) 에서 웨이퍼 리프트 모듈 (wafer lift module) 로의 웨이퍼 이동에 필요한 동작 제어를 제공합니다. 또한 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 허가되지 않은 인원이 웨이퍼 핸들러 내부에 액세스하지 못하도록 하는 안전 연결 (Safety Interlock) 과 기계 상태 확인 및 결함 위치를 위한 진단 소프트웨어 (Diagnostic Software) 가 포함되어 있습니다. 또한, 이 시스템은 전력 효율 설계를 가지고 있으며 에너지 소비를 줄이기 위해 카운터 밸런스 (counter-balance) 기술을 갖추고 있습니다. 무엇보다도, BROOKS ESC 212 웨이퍼 핸들러는 대용량 반도체 처리 작업에 효과적이고 안정적인 도구입니다.