판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC 212/218 #9206799
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BROOKS ESC 212/218은 PRI AUTOMATION Automation에서 제조 한 웨이퍼 처리 로봇입니다. 완전 자동화 된 웨이퍼 핸들러로, 다양한 웨이퍼 제작 업무를 수행 할 수 있습니다. 사이클 당 최대 6 개의 200mm 또는 13 개의 125mm 직경 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. ESC 212/218에는 이러한 웨이퍼를 처리 할 때 효율성을 높이는 몇 가지 고급 기능이 있습니다. 다용도이며 단면 및 양면 처리 작업에 모두 사용할 수 있습니다. ESC 212/218 의 로봇 암 (robotic arm) 은 웨이퍼를 고르고 조작 할 때 높은 정확도를 달성 할 수 있습니다. 또한 정확 한 "웨이퍼 '처리 에 사용 되는 시력" 시스템' 이 갖추어져 있다. 비전 (vision) 시스템은 웨이퍼가 로드되고 언로드될 때 정확한 위치와 방향을 제어하는 데 매우 효과적입니다. 웨이퍼 처리 (wafer handling) 로봇을 사용하여 미리 정의된 매개변수를 충족하도록 웨이퍼를 검사할 수도 있습니다. 이 검사 기능을 사용하여 생산량을 극대화할 수 있습니다. 웨이퍼 처리 (wafer handling) 로봇은 조작자 제어 및 작업 모니터링을 용이하게 하는 여러 소프트웨어 패키지와 통합됩니다. BROOKS/PRI AUTOMATION Automation의 프로그래밍 도구 인 "RoboLogic" 의 통합을 통해 로봇은 프로그래밍 및 스케줄 지정 기능을 통해 자동화됩니다. ESC 212/218 로봇 웨이퍼 핸들러는 유연하고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 인원과 장비를 보호하는 여러 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한 "클린 룸 세이프 (clean room safe)" 로봇으로, 오염없이 유해 화학 물질과 초 순수 대기 주변에서 사용할 수 있습니다. 결론적으로, BROOKS ESC 212/218은 다양한 생산 프로세스에 사용될 수있는 고급 웨이퍼 처리 로봇입니다. 웨이퍼 처리 (wafer-processing) 작업을 개선하는 여러 기능이 포함되어 있어 웨이퍼 처리 (wafer-processing) 작업을 사용하는 제조업체에게는 매우 효과적인 옵션입니다. 또한 매우 신뢰성 있고, 안전하며, 클린 룸 (Clean Room) 과 호환되므로 운영 프로세스의 효율성과 생산성을 높이려는 사람들에게 적합한 선택입니다.
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