판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 #9064608

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 Wafer Handler는 반도체 웨이퍼를 효율적으로 이동하고 처리하도록 설계된 자동화 장비입니다. 고속 양방향 전송 모듈, 로봇 암, hydropick 웨이퍼 액세서리, 웨이퍼 클램프, 에어 베어링 유닛 및 컨트롤러를 포함하는 완전히 통합 된 시스템입니다. BROOKS ESC-204T-S293은 최대 8 인치 (직경) 의 다양한 웨이퍼 크기를 처리하고 시간당 최대 149 개의 웨이퍼를 픽업하고 배치 할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (GUI) 를 통해 공구를 쉽게 설정하고 작동할 수 있습니다. 고속 양방향 전송 모듈을 사용하면 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 이동할 수 있습니다. 전송 모듈은 최대 8 인치 (직경) 의 웨이퍼와 여러 웨이퍼 플랫폼을 이동하도록 설계되었습니다. 최소한의 유지 관리 및 최대한의 신뢰성을 위해 최소 (mechanical) 구성요소로 설계되었습니다. 양방향 전송 모듈은 또한 최고 147mm/sec 의 속도로 실행할 수 있으며, 전송 속도가 빠릅니다. PRI AUTOMATION ESC-204T-S293의 로봇 암 (robotic arm) 은 다양한 동작과 방향을 사용하여 웨이퍼를 정확하게 선택하고 배치 할 수 있습니다. 로봇 암은 표준 산업 소프트웨어 (standard industry software) 를 사용하여 쉽게 설정하고 점수 (pick and place point) 를 변경할 수 있습니다. 로봇 암은 또한 유연한 설치 및 자산 확장을 허용하는 모듈 식 (modular) 디자인을 특징으로합니다. "하이드로픽 '" 웨이퍼' 부속품 을 "로봇 '암 과 함께 사용 하여" 웨이퍼' 를 처리 할 때 에 부가적 인 조절 과 정확성 을 제공 할 수 있다. ESC-204T-S293의 웨이퍼 클램프는 웨이퍼의 안전한 처리 및 이동을 보장합니다. 웨이퍼 클램프는 2 개의 기압 챔버 (air pressure chamber) 로 설계되어 웨이퍼와 웨이퍼 클램프 사이에 공기 층을 만들어 손상이 없습니다. 공기 베어링 (Air Bearing) 모델은 최적의 웨이퍼 처리 및 안정적인 결과를 위해 진동 및 소음을 줄입니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-S293에는 효율적인 설치 및 작동을 지원하는 강력한 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 컨트롤러에는 장비를 간단하게 설정하고 작동시키는 GUI (Graphical User Interface) 가 있습니다. 또한 컨트롤러는 시스템 성능에 대한 시각적 피드백을 제공하고 모든 데이터를 기록합니다. 또한 컨트롤러는 전자로드 감지 (electronic load sensing), 과부하 인식 (overload recognition) 과 같은 잠재적 오작동으로부터 보호하는 내장 안전 기능으로 설계되었습니다. BROOKS ESC-204T-S293 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 신뢰할 수 있고, 효과적이며, 사용하기 쉬운 장치로, 직경이 최대 8 인치인 다양한 웨이퍼 크기를 처리하고 빠른 전송 시간을 제공합니다. 로봇 암, 하이드로 픽 웨이퍼 액세서리, 웨이퍼 클램프 (wafer clamp), 에어 베어링 머신 (air bearing machine) 은 강력한 컨트롤러와 결합하여 효율적이고 효율적인 자동화 도구를 제공합니다.