판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 #9064560

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 웨이퍼 핸들러는 고정밀, 고해상도 웨이퍼 처리를 위한 고급 자동화 솔루션입니다. 최신 "로봇 '및" 컴퓨터' 비전 "시스템 '과 상호 작용 하도록 설계 되었으며, 고급 산업 및 상업 사업 에 이상적 인 선택 을 하였다. BROOKS ESC-204T-S293은 최대 24 개의 개별 기판 위치를 관리하면서 한 번에 최대 6 개의 웨이퍼를 처리하도록 설계된 매우 정밀한 반도체 처리 장비입니다. 완전 밀폐형 (Fully Closed), 전송 가능 시스템 (Transportable System) 을 통해 고정 소스에서 웨이퍼를 자동으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 따라서 수작업으로 처리하여 신뢰성과 정확성을 높일 수 없습니다. PRI AUTOMATION ESC-204T-S293에는 웨이퍼의 정확한 정렬을 위해 2 축 스테이지가 장착되어 있습니다. 이중 서보 구동 X 및 Y 축이 있으며, 높은 수준의 신뢰성으로 뛰어난 속도, 정확성 및 반복 성을 제공합니다. 이 장치의 고급 동작 제어 알고리즘은 빠르고, 정확하고, 유지 관리가 적은 작업을 보장합니다. ESC-204T-S293은 고정밀, 루프 기반 컨트롤러, 24 위치, 병렬 그리핑 로드 포트를 갖추고 있어 프로세스를 지능적으로 제어 할 수 있습니다. 디지털 토크 센서 (digital torque sensor) 는 스테이지의 힘에 대한 정확한 피드백을 제공하여 웨이퍼의 위치와 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 가속 및 감속을위한 조절 가능한 데드 타임, 동적 단일 포인트 수렴 (single-point convergence) 과 같은 혁신이 제공됩니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-S293에는 직원 및 장비를 보호하기 위해 설계된 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 수동 웨이퍼 이젝터 (passive wafer ejector), 온도 센서 및 경고 장치, 경보 및 상태 표시기 등이 포함됩니다. 주변 장치 연결을 위한 여러 데이터 포트도 포함되어 있습니다. 내구성 및 작동 용이성을 높이기 위해 BROOKS ESC-204T-S293에는 공정 검증을위한 고성능, 강화 된 크롬 레이저가 포함되어 있습니다. 이를 통해 안정적인 웨이퍼 추적 및 보정이 가능합니다. 또한 고급 제어 (Advanced Control) 기술을 통해 다운타임을 최소화하고 장기간 유지보수를 최소화할 수 있습니다. 결론적으로 PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 웨이퍼 핸들러는 높은 수준의 정확성과 속도를 제공하는 매우 안정적이고 효율적인 기계입니다. 광범위한 안전 (Safety) 기능과 결합된 혁신적인 디자인으로, 고급 산업 및 상업 운영에 이상적인 선택입니다.