판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293 #9256427

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 최대 200mm 직경의 웨이퍼, 최대 25mm 두께의 기판을 처리 할 수 있습니다. SMIF 로드 가능성이 있는 전체 오픈 탑 프레임 (OTF) 반자동 재료 입력/재료 출력 (MIMO) 시스템을 위해 설계되었습니다. BROOKS ESC-204T-OTF-SMIF-S293 은 효율적이고 정확한 웨이퍼 (wafer) 전송을 가능하게 하며, 수작업, 수작업 웨이퍼 처리 방법에 비해 효율성이 향상되고, 로드 포트 내부 또는 외부의 웨이퍼 이동이 더욱 빠르고 자동화됩니다. PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293에는 웨이퍼 처리 로봇, 전동 단계, 공통 제어, 모션 및 소프트웨어 요소가 장착되어 있습니다. wafer-handling robotics는 안전하고 안정적인 전달, 저장 및 wafer 검색 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 손쉬운 운영 및 유지 관리를 위해 터치 패널 (Touch Panel) 에 의해 제어되며, 로드포트에서 필요한 웨이퍼를 제공합니다. 전동식 스테이지는 통합 모션 제어 요소를 사용하여 매우 정확한 로드 및 언로드 동작을 허용합니다. 스테이지는 또한 로드 포트 연결 인터페이스 (loadport connection interface) 를 사용하여 리셉터클 안팎에서 웨이퍼를 효율적으로 전송할 수 있습니다. ESC-204T-OTF-SMIF-S293에는 SORDIN 컨트롤러도 포함되어 있습니다. SORDIN 컨트롤러는 SORDIN 컨트롤러를 완벽하게 자동화하여 데이터를 신속하게 추적할 수 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293에는 로봇 및 스테이징 구성 요소 외에도 SORDIN 제어 장치, 웨이퍼 로드 및 언로드를위한 자동화 인터페이스 등의 소프트웨어 요소도 포함되어 있습니다. 이 자동화 인터페이스는 RS-232 이며, 외부 로드 포트 시스템과 상호 작용할 때 편리한 통신 수단을 제공합니다. BROOKS ESC-204T-OTF-SMIF-S293은 반자동 MIMO 시스템에 대한 고급 다용성을 제공하여 정확성과 반복성이 향상된 웨이퍼를 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 로보틱스 (robotics), 모션 컨트롤 요소 (motion-control elements), 소프트웨어 요소 (software elements) 를 사용하는 것은 특히 반도체 업계에서 정확한 웨이퍼 처리에 이상적인 선택입니다.