판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC 200 #9016586

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC 200 Wafer Handler는 자동 웨이퍼 처리의 정확성, 품질 및 처리량을 향상시키도록 설계된 완전 자동 웨이퍼 처리 장치입니다. 반도체 제작, 전자 조립, 다이 본딩 (diebonding) 등 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. BROOKS ESC 200은 캐스트 알루미늄 압출 프레임, 스테인리스 스틸 부품 및 복합 재료 바디 패널의 조합으로 구성됩니다. 대형 강철 기지, 클램쉘 포털, 자동 웨이퍼 그리퍼, 자동 스테이지 이동 및 워크스테이션 모니터가 특징입니다. 자동 그리퍼 (automated gripper) 는 정밀 조정을 위해 조이스틱 제어로 설계되었으며 수많은 웨이퍼 크기와 재료 유형을 지원할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ESC 200은 25 인치 서보 선형 스테이지로, 웨퍼 그립핑 및 전송 중 정확한 위치 지정을 위해 슬라이드 스톱을 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '가 로드 및 언로드 위치에 있을 때 실수로 다른" 웨이퍼' 위치를 넘지 않습니다. 스테이지의 온보드 드라이브 모터 (integrated drive motor) 는 동작 범위에서 부드럽고 정확한 동작을 제공합니다. 또한, 전체 구조는 진동 및 등방 충격 조건에서 안정적인 작동을 위해 설계되었습니다. ESC 200 의 주요 제어 장치에는 산업 등급의 하드웨어와 자동화된 웨이퍼 처리를 위한 소프트웨어가 모두 장착되어 있습니다. 여기에는 맞춤형 설계에 적합한 개방형 아키텍처를 갖춘 PC 기반 실시간 시스템이 포함됩니다. 또한 효율적이고, 직관적이며, 사용자 친화적 인 프로그래밍 및 원격 모니터링을 제공하는 통합 HMI 소프트웨어 플랫폼도 포함되어 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ESC 200은 자동화된 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) 를 위한 완벽한 툴을 제공하는 것 외에도, 다른 통합 시스템과의 통합도 용이합니다. Apollo (tm) CP-TS 및 Stantz (tm) ED-500 시스템과 같은 주요 컨트롤러에 연결할 수 있으므로 로봇 어셈블리에서 마이크로 어셈블리까지 모든 수준에서 자동화할 수 있습니다. BROOKS ESC 200은 광범위한 자동 웨이퍼 처리 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 견고한 구성, 정확한 운영, 통합 유연성을 갖춘 이 제품은 모든 운영 시설에서 성능, 안정성, 처리량을 향상시키는 경제적인 툴입니다.