판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION Ergo #128314

BROOKS/PRI AUTOMATION ERgO 웨이퍼 핸들러는 반도체 제조 시설에 사용하도록 설계된 아트 반자동 웨이퍼 처리 솔루션의 상태입니다. 완전 프로그래밍 가능한 로봇 장비로, 처리 장비에 웨이퍼 전송, 사전 정렬, 로딩/언로드 등의 다양한 웨이퍼 처리 작업을 수행 할 수 있습니다. 브룩스 에르고 (BROOKS Ergo) 는 여전히 효과적인 주기 시간을 달성하면서 높은 수준의 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 조절 가능한 구성 요소를 갖추고 있으며, 고객의 특정 요구 사항에 따라 구성할 수 있으며, 최대 300mm (직경) 의 웨이퍼를 수용할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ERGO 웨이퍼 핸들러는 강력하고 신뢰할 수있는 서보 제어 로봇 암을 사용하며, 이는 BROOKS 고급 모션 컨트롤러로 구동됩니다. "로봇 '의 이동 은" 비전' 통합 장치 에 의해 감시 되고 기계 의 "프로그램 '가능" 센서' 는 "로봇 '의 방향 과 정밀 한 위치 를 추적 한다. Ergo 웨이퍼 핸들러 (Ergo wafer handler) 는 허위 선택 및 거부를 최소화하도록 설계되었으며 수동 로드/언로드에 비해 높은 수준의 정확성을 제공합니다. 이 도구는 또한 청소 (cleaning) 및 유지 관리 (maintenance) 를 위해 쉽게 액세스할 수 있는 세련된 디자인을 갖추고 있으며, 작은 설치 공간은 공간 제약이 많은 환경에서도 설치할 수 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ERgO 웨이퍼 핸들러는 최고의 정확성과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 동작 "컨트롤러 '는 주기 동안 의 높은 수준 의 정확도 를 계속 유지 할 수 있으며, 반복 할 수 있는 성능 에 대한 더 큰 예측 가능성 을 보장 할 수 있다. 자산은 고급 프로그래밍 (Advanced Programming) 및 자동화 (Automation) 기능을 갖추고 있어 다양한 웨이퍼 처리 시나리오를 처리할 수 있으며, 강력하고 신뢰할 수 있는 파워 트레인은 평생 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 또한 BROOKS Ergo 웨이퍼 핸들러는 운영자에게 향상된 안전 기능을 제공합니다. 2 단계 안전 모니터링 모델은 잠재적 인 문제 및 경고 연산자를 감지하도록 설계되었으며, 힌지 (hinged) 웨이퍼 척 (wafer chuck) 과 견고한 급지대 (feeder arm) 는 잠재적 부상을 완화하도록 설계되었습니다. PRI AUTOMATION ERgO 웨이퍼 핸들러 (ERGO Wafer Handler) 에는 기존 프로세스 라인에 쉽게 통합할 수 있는 여러 통신 프로토콜이 포함되어 있으며, 모듈식 설계를 통해 향후 업그레이드와 사용자 정의가 가능합니다. Ergo 웨이퍼 핸들러는 반도체 생산 요구에 적합한 솔루션입니다. 정확도, 안정성, 안전성의 탁월한 조합으로, 생산 프로세스의 생산량을 극대화할 수 있습니다.