판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION / EQUIPE ATM 407-1-S #9195685

BROOKS/PRI AUTOMATION/EQUIPE ATM 407-1-S 웨이퍼 핸들러는 반도체 웨이퍼를 이동, 조작 및 검사하도록 설계된 고급 로봇 자동화 시스템입니다. Cleanroom 환경의 정밀 제조 프로세스에 사용됩니다. BROOKS/PRI 핸들러는 개별 프로세스 요구에 맞게 사용자 정의 할 수있는 모듈식 시스템입니다. 메인 보드, 여러 운송 가능 웨이퍼 카세트, 웨이퍼 셔틀, 검사 및 탐지 스테이션으로 구성됩니다. 메인프레임은 기본 프레임, 운영자 인터페이스, 전원 공급 장치, 공기적으로 작동하는 동작 부품, 서보 모터 드라이브로 구성됩니다. 수송 가능 "웨이퍼 '" 카세트' 는 "웨이퍼 '를 한 프로세스 스테이션 에서 다른 프로세스 스테이션 으로 수송 하는 자동화 된 수단 을 제공 한다. 이를 통해 메인프레임에 신속하게, 정확하고, 반복적으로 웨이퍼를 로드하고, 언로드할 수 있습니다. 또한 향상된 데이터 무결성을 위한 바코드 리더가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 셔틀 (wafer shuttle) 을 사용하면 메인프레임 내의 프로세스 스테이션에서 다른 프로세스 스테이션으로 웨이퍼를 운송 할 수 있습니다. 셔틀은 공압 방식으로 구동되며, 모든 수의 웨이퍼에 대해 사용자 정의 구성이 가능합니다. 최소 진동으로 높은 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되어 고품질 웨이퍼 (wafer) 처리를 보장합니다. 검사 및 탐지 스테이션 (Inspection and Detection Station) 은 웨이퍼의 결함을 감지하고 측정하는 데 사용됩니다. 고급 이미징 (Advanced Imaging) 과 라이트 센서 (Light Sensor) 를 장착하여 웨이퍼를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 센서는 웨이퍼 결함을 정확하게 감지하고 불규칙성 또는 오염을 결정할 수 있습니다. BROOKS ATM 407-1-S 웨이퍼 핸들러 (BROOKS ATM 407-1-S wafer handler) 는 오늘날 최신 클린 룸 환경에서 가장 까다로운 생산 요구를 충족할 수 있는 고정밀도 웨이퍼 처리 및 검사를 제공하도록 설계된 고급형, 맞춤형 로봇 자동화 시스템입니다. 모듈식 (modular), 다용도 (versatile) 어플리케이션, 견고한 구조로 가장 까다로운 반도체 제조 공정에 이상적인 자동화 솔루션입니다.