판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION / EQUIPE ATM-107B-2-S-CE #9211141

BROOKS/PRI AUTOMATION/EQUIPE ATM-107B-2-S-CE는 반도체 웨이퍼의 로드 및 전송을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 핸들러는 시간당 최대 5700 개의 웨이퍼 (wafer per hour hour) 의 처리량을 제공하며, 듀얼 카세트 데크와 높은 효율성을 위해 매우 짧은 주기 시간을 제공합니다. 이 스테이션에는 통합 트위스터 스테이션 (twister station) 이 있으며, 여기서 웨이퍼는 모든 프로세스를 자동화 할 수 있습니다. 또한 다중 영역 (multi-zone) 기능을 제공하여 하나의 스테이션에서 여러 프로세스 단계를 수행할 수 있으므로 업스트림 (upstream) 프로세스의 비용, 크기, 복잡성을 줄일 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 모듈식 접근 방식으로 설계되었으며, 고유한 프로세스 요구 사항을 충족하고 다양한 유형의 기술을 수용하도록 신속하게 수정할 수 있습니다. 이를 통해 핸들러는 개별 구성 요소 및 통합 회로 제작에 모두 적합합니다. 또한, 봉인 된 ESD 보호제 및 오염없는 구조를 포함하여 프로세스 환경을 위한 고급 설계가 특징입니다. BROOKS ATM-107B-2-S-CE는 다양한 인터 록을 가지고 있으며, 이는 핸들러의 모든 부분이 양호한 상태인지 확인합니다. 또한 자동 시력 검사 (Automatic Vision Inspection) 기능이 있으며, 이 기능은 웨이퍼 방향 및 기타 매개변수를 검사하고 적절한 조건이 아닌 웨이퍼를 거부하는 기능을 제공합니다. 또한, 핸들러는 정확한 웨이퍼 포지셔닝 및 처리를 위해 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 또한, 단일 포인트 웨이퍼 절단 (single-point wafer cutting) 을 포함하는 기계의 향상된 기능은 오염이 없는 원활한 처리 작업을 위해 낮은 잔류 웨이퍼 처리 프로세스를 허용합니다. 최적의 웨이퍼 안전성을 보장하기 위해 핸들러에는 진공 수집, 웨이퍼 보호 실드, 이동식 커버, 리본 케이블 센서, 스크래치가 아닌 부품 등 다양한 예방 조치가 포함되어 있습니다. 또한, EQUIPE ATM-107B-2-S-CE는 Intel Core i7 프로세서를 장착하여 고성능 작동과 복잡한 데이터를 처리할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러는 이더넷, PROFINET, DeviceNet, MODBUS 통신 시스템과 같은 표준 기술도 통합하여 모든 설비의 제어 시스템에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 설계와 생산의 용이성을 위해, 웨이퍼 핸들러는 저전력, 유연한 아키텍처, 모듈식 디자인으로 설계되었습니다. 이를 통해 통합 프로세스가 단순화되고, 기계와 기술의 간단한 현대화와 업그레이드가 보장됩니다. 또한, 이 처리기는 예방적 유지 관리, 모니터링, 진단 기능을 플랫폼에 통합하여 다운타임을 줄이고 효율성을 최적화합니다.