판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION EDC-2800 #293700642
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ID: 293700642
Robot controllers
P/N: 316951-001 / 6-0002-1305-SP
Robot controller assy, P/N: 927679-001
M/N: EDC2800BT.
BROOKS/PRI AUTOMATION EDC-2800은 반도체 제조 시설에서 웨이퍼 처리 및 처리를 능률적으로 처리하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 최첨단 장비는 최첨단 기술과 혁신적인 기능을 통합하여 효율적이고 안정적인 웨이퍼 (Wafer) 처리 작업을 보장합니다. 브룩스 EDC-2800 (BROOKS EDC-2800) 에는 정교한 로봇 암 (robotic arm) 시스템이 장착되어 있으며, 이 시스템은 청소실 환경에서 다양한 처리 도구와 장비 사이에서 웨이퍼를 정확하게 픽업하고 전송할 수 있습니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 고정밀도 및 속도로 작동하도록 설계되어 생산성과 처리량을 극대화할 수 있는 빠르고 정확한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 작업을 지원합니다. PRI AUTOMATION EDC-2800의 주요 기능 중 하나는 고급 자동화 기능입니다. 이 장비에는 리토그래피 도구, 에처 (etcher), 증착 도구 (deposition tool) 와 같은 다른 반도체 제조 장비와 원활하게 통합 할 수있는 지능형 소프트웨어 및 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 이러한 자동화 기능을 통해 수작업 (Manual Intervention) 이 필요 없이 효율적이고 지속적인 웨이퍼 (Wafer) 처리 작업을 수행할 수 있으며, 사람의 오류 위험을 줄이고, 일관되고 안정적인 웨이퍼 처리를 보장합니다. 또한 EDC-2800 은 모듈식 (modular) 설계를 통해 각기 다른 반도체 제조 공정의 특정 요구 사항을 충족할 수 있는 사용자 정의 및 유연성을 제공합니다. 장비는 다양한 엔드 이펙터, 웨이퍼 (wafer) 크기, 처리 구성으로 쉽게 구성하여 다양한 웨이퍼 유형과 처리 요구를 충족할 수 있습니다. 이 모듈식 설계는 변화하는 생산 요구 사항에 대한 다용성과 적응성을 보장하며, 따라서 BROOKS/PRI AUTOMATION EDC-2800은 매우 다양하고 미래형 웨이퍼 처리 솔루션이 됩니다. 성능 측면에서, BROOKS EDC-2800 은 웨이퍼 처리 작업에 높은 처리량과 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 장비는 소직경 (small diameter) 에서 대직경 (large diameter) 까지 다양한 웨이퍼 크기를 정밀도 및 속도로 처리 할 수 있습니다. 로봇 암 시스템은 빠르고 정확한 웨이퍼 전송, 사이클 시간 최소화, 생산 생산량 극대화에 최적화되어 있습니다. 또한 PRI AUTOMATION EDC-2800은 안정성과 내구성을 고려하여 제작되었습니다. 이 장비는 고품질 소재 (HQP) 와 부품으로 구성되며, 오염과 정전기와 같은 청정실 (Clean Room) 환경의 문제를 견뎌낼 수 있도록 설계되었습니다. 로봇 암 (Robotic Arm) 시스템은 장기 성능 및 낮은 유지 관리 요구 사항을 고려하여 설계되었으며, 다운타임을 최소화하면서 무중단 업무 운영을 보장합니다. 전반적으로 EDC-2800 은 최첨단 웨이퍼 핸들러로, 반도체 제조 설비를 위한 고급 자동화, 커스터마이징, 고성능, 신뢰성을 제공합니다. 혁신적인 기능과 기술로 BROOKS/PRI AUTOMATION EDC-2800은 웨이퍼 처리 작업을 간소화하고, 생산성을 향상시키며, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 일관성 있고 고품질 처리를 보장하도록 설계되었습니다.
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