판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATR-8 #128317

ID: 128317
Robot controller, p/n 105947.
BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-8 웨이퍼 핸들러는 자동화된 웨이퍼 처리 및 처리를 위한 신뢰성 있고 높은 처리량, 비용 효율적인 솔루션입니다. 반도체· 인쇄회로기판시장 등 다양한 업종에서 쓰이는 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에 대한 업계 표준이다. Automation BROOKS ATR-8은 3축 웨이퍼 포지셔너 및 피커 어시시를 갖춘 작고 강력하지만 강력한 웨이퍼 핸들러입니다. 높은 정확성, 반복 가능성 및 반복 성 PID 제어가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 핸들러의 Z축은 +/- 10 도의 선형 회전을 통해 웨이퍼를 미세하게 조정하여 전송 및 웨이퍼 로딩을 정확하게 정렬합니다. Automation PRI AUTOMATION ATR 8은 프로그래밍 가능한 피치 범위 6.025 mm ~ 36.18 mm의 150mm 및 200mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ATR 8은 대용량 캐스트 알루미늄 베이스와 프레임으로 설계되어 고성능, 장기적인 신뢰성을 제공하며, 신속한 유지 관리 및 수리를 위한 공구가 필요 없는 이동식 상단 덮개 및 측면 패널을 제공합니다. 또한 로봇의 작동 기능을 완벽하게 제어하는 직관적 인 터치 스크린 HMI (Touch Screen HMI) 가 있습니다. 오토메이션 ATR-8 (Automation ATR-8) 에는 안전성과 정확성을 보장하기 위해 다양한 안전 기능과 조정 가능한 매개변수가 장착되어 있습니다. 속도, 드라이브, 슬라이드 한계를 조정하여 충돌 방지, 과부하 방지, 동작 축의 초과 확장 (over-extensions) 을 제한합니다. 또한 "로봇 '이 원하는 작업 구역 내 에서만 움직 이도록 안전 을 조정 할 수 있다. 자동화 BROOKS ATR 8 (Automation BROOKS ATR 8) 은 효율적인 프로세스 시간과 정확한 부품 처리를 통해 우수한 웨이퍼 처리기로 입증되었습니다. 로드 및 언로드, 웨이퍼 교환, 정렬 및 바이어싱 (biasing) 을 위해 제작되어 매우 다재다능합니다. 또한 품질 보증 프로세스의 일환으로 자동 이미지 캡처를 위해 추가 웨이퍼 펜스 (wafer fences) 또는 현미경 시스템 (microscope system) 을 구성할 수 있습니다. 우수한 웨이퍼 처리를 위해 PRI AUTOMATION ATR-8 웨이퍼 처리기는 모든 업계 또는 어플리케이션에 최적의 선택입니다. 세련된 디자인과 견고한 설계로 인해 신뢰할 수 있는 경제적인 솔루션으로, 수년에 걸쳐 높은 성능을 유지할 수 있습니다 (영문).
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