판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATR-7 #9286633

BROOKS/PRI BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7 ATR (Automatic Transfer Robot) 은 반도체 처리 시스템과 함께 사용하도록 설계된 완전 자동 웨이퍼 핸들러입니다. PRI AUTOMATION 전용 서보 모션 기술을 기반으로하며 다양한 OEM 처리 시스템과 상호 작용하도록 설계되었습니다. 브룩스 ATR-7 (BROOKS ATR-7) 은 인간이 거의 개입하지 않고 하나의 장비에서 다음 장치로 웨이퍼를 옮길 수 있습니다. PRI AUTOMATION ATR-7은 높이가 30 인치, 폭이 17 인치 인 소형 경량 기계입니다. 메인 프레임은 항공기 품질 알루미늄 및 스테인리스 스틸 (stainless steel) 부품으로 구성되며 부식 내성 알루미늄으로 덮개가 만들어집니다. 시스템의 모든 부품은 설치 및 이동이 간편한 단일 기본 (single base) 모듈에 마운트됩니다. ATR-7에는 2 개의 웨이퍼 트레이가 장착되어 있으며, 각각 최대 8 개의 200mm 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 용지함 은 "웨이퍼 '와 함께 적재 된 다음, 위쪽 용지함 을" 드라이브' 케이블 에 연결 한 채 격자 위 에 놓는다. 그리드는 저 관성 DC 서보 모터 (low-inertia DC servo motor) 에 의해 구동되며, 장치의 동작은 쉽게 제어 할 수 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7은 고급 디자인과 고품질 구성 요소 때문에 안정성이 뛰어납니다. 여기에는 작업을 모니터링하고 오류가 감지되면 공구를 중지하는 이중 센서 시스템 (dual-sensor machine) 이 포함됩니다. 또한 일관되고 반복 가능한 공정을 위해 가스 (gas) 의 웨이퍼 흐름을 제어하기위한 통합 가스 공급 자산 (gas-supply asset) 이 있습니다. 브룩스 (BROOKS) ATR-7은 유연성을 위해 설계되었으며, 다양한 처리 시스템과 연결할 수있는 여러 기능이 포함되어 있습니다. 통신 포트는 PC 또는 컨트롤러뿐만 아니라, 널리 사용되는 여러 모델 모델에 직접 연결할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ATR-7 (PRI AUTOMATION ATR-7) 을 사용하여 머신에 직접 프로그래밍할 수 있는 제어 매개변수, 좌표 조정 및 다양한 출력 명령도 사용할 수 있습니다. 인상적인 기능 외에도 BROOKS/PRI AUTOMATION/PRI ATR-7은 사용하기 쉽고 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있습니다. 기존 "웨이퍼 '처리 장치 에 쉽게 연결 될 수 있으며, 직관적 인 사용자 인터페이스 덕분 에 연산자 들 은" 머신' 을 사용 하는 방법 을 빨리 배울 수 있다. 안정성, 유연성, 사용자 친화적 설계를 갖춘 BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7은 자동 웨이퍼 처리가 필요한 모든 실험실 또는 산업 환경에 적합한 선택입니다.