판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATR-7 #9254397

BROOKS / PRI AUTOMATION ATR-7
ID: 9254397
Acutran atmospheric wafer robots Model number: 002-7090-05.
BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7은 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 직경 12mm (200mm) 의 웨이퍼를 처리하여 광범위한 웨이퍼 처리를 허용하도록 설계되었습니다. BROOKS ATR-7은 3 축 선형 동작 시스템을 사용하여 생산 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼를 정확하고 효율적으로 전송합니다. PRI AUTOMATION ATR-7은 자동 웨이퍼 스테이징 및 언로드 기능을 수행 할 수 있습니다. 따라서 수작업 개입이 없어서 생산 수익률과 처리량이 늘어납니다. 이 기계는 전면 (Front) 과 후면 (Rear Stage) 간에 웨이퍼를 전송하고 출력/입력 위치를 전송하여 생산 테스트 및 정렬 기능을 용이하게합니다. ATR-7은 또한 wafer pass-through, spin-staging 및 clip-passing 기능을 포함한 다양한 동시 작업을 지원합니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7은 웨이퍼 인식 시스템을 사용하여 웨이퍼 크기를 결정하므로 빠르고 정확한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 또한 알고리즘을 사용하여 결함 조건을 감지하고 그에 따라 작업을 조정합니다. 이를 통해 처리량을 극대화하고 오류를 줄일 수 있습니다. 또한 BROOKS ATR-7은 이더넷 또는 USB를 통해 외부 제어 시스템과 인터페이스 할 수 있습니다. 따라서 워크스테이션 및 도구 시스템과의 동기화를 통해 효율적인 운영 회선 (production line) 작업을 수행할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ATR-7은 대용량 운영 환경에서 일관되고 안정적인 웨이퍼 처리 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 서비스는 BROOKS 의 신뢰할 수 있고, 지식이 풍부한 서비스 팀의 지원을 받아 최고의 품질과 성능을 보장합니다. ATR-7 은 견고한 구성과 안정적인 운영을 통해, 처리량 및 수율을 높이려는 반도체 제조업체에게 이상적인 선택입니다.
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