판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM #9263033

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM은 반도체 웨이퍼 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 다재다능한 로봇 장비로, 픽업, 수송, 웨이퍼를 빠르고 정확하게 배치할 수 있습니다. 이 시스템은 산업 조작기 (industrial manipulator arm) 를 기반으로하며 통합 센서 제품군을 사용하여 웨이퍼를 식별하고 추적합니다. ARM은 정확한 웨이퍼 처리 작업에 필요한 수직, 수평, 회전 동작을 제공하도록 설계된 일련의 연결 암 (linked arms) 과 액츄에이터 (actuator) 로 구성됩니다. 조작 장치 (manipulator) 는 수평 조절 가능한 높이 베이스에 장착되어 쉽게 액세스 및 배치할 수 있습니다. 암은 부드럽고 정확한 동작을 제공하기 위해 고 토크 서보 모터가 장착 된 Allen-Bradley powerFlex 드라이브 유닛에 의해 구동됩니다. 또한 BROOKS ATM에는 로봇 암에 통합 된 정밀 비전 머신 (precision vision machine) 이 포함되어 있어 웨이퍼의 실시간 인식 및 위치를 제공합니다. 이 도구는 웨이퍼 모서리와 방향을 감지하여 좌표를 수동으로 지정할 필요 없이 정확한 픽업 (pick-up) 및 배치 (placement) 를 제공합니다. 웨이퍼 배치 정확도를 향상시키고 공구 비용 (tooling cost) 을 줄이기 위해 자산은 또한 전송 중 웨이퍼 (wafer) 의 컨택트 힘을 측정하는 고급 힘 피드백 (force-feedback) 기술을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 각 웨이퍼의 민감도가 공구에 배치할 때 로봇 (Robot) 에서 고려됩니다. 반자동 웨이퍼 (semi-automated wafer) 처리 외에도 자동화된 프로세스 툴과 프로세스 제어 소프트웨어가 장착됩니다. 스퍼터링, 확산, 에칭, 얇음 등 다양한 프로세스 단계를 수행할 수 있습니다. wafer processing (웨이퍼 처리) 과 관련된 데이터를 기록하고 전체 추적성을 갖춘 배치 보고서를 작성하는 데도 사용할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ATM은 대용량 웨이퍼 구성 어플리케이션을 위한 강력하고 다양한 도구입니다. 공장 통합 (factory integration) 을 위해 설계되었으며 다양한 고객 요구에 맞게 프로그래밍할 수 있습니다. 견고하고, 안정적이며, 신뢰성이 높으며, 자동화된 웨이퍼 처리를 위한 저렴한 솔루션을 제공합니다.