판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE #9209888

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler는 극한의 온도 조절 안정성이 필요한 어플리케이션의 정확하고 정확한 웨이퍼 처리를 위한 고성능, 업계 최고의 자동 전송 모듈입니다. 웨이퍼 핸들러는 200mm ~ 200mm 범위의 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계되었으며, 다양한 웨이퍼 직경과 높이를 수용 할 수 있습니다. 이 장치는 소스 (source) 에서 프로세스 도구 (process tool) 로의 직접 경로를 제공 할 수 있으며, 웨이퍼 제어를 개선하기위한 트레이 인덱싱 메커니즘이 특징입니다. 이 장치에는 웨이퍼 로딩 및 언로드를 돕기 위해 조정 가능한 오프닝 (opening) 을 갖춘 인체 공학 디자인이 포함되어 있습니다. BROOKS ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler는 수직 (vertical) 모드와 수평 (horizontal) 모드 모두에서 실행할 수 있어 다양한 프로세스 툴과 최적의 호환성을 제공합니다. 이 장치는 또한 대용량 운영 실행 중에 최적의 웨이퍼 관리를 위한 Active Stacking Technology를 갖추고 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 무결성 (wafer integrity) 을 저하시키지 않고 주기 시간을 줄이고 생산 능력을 향상시킬 수 있습니다. PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE는 ± 1 ° C 이상에서 챔버 온도를 유지하여 웨이퍼 처리 중 매우 안정적인 조건을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 특정 웨이퍼 처리 요구 사항을 충족하도록 프로그래밍 할 수있는 고급 제어 아키텍처 (Advanced Control Architecture) 를 갖추고 있습니다. 이는 쉽게 조정 가능한 프로세스 매개 변수 (예: 웨이퍼 속도, 시간 지연, 최대 16 개의 구성 가능한 레시피) 로 수행됩니다. 이를 통해 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 검증 실행에서 높은 스루핑 (Through-put) 운영 실행에 이르기까지 고객이 정의한 운영 요구 사항을 충족하도록 정확하게 프로그래밍할 수 있습니다. ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler 에는 경고, 오류 코드, 데이터 로깅 등의 프런트엔드 모니터링 및 진단 기능도 포함되어 있습니다. 따라서 WF (Consistent Wafer Integrity) 를 보장하고 가동 시간을 단축하고 유지 보수 작업을 간소화할 수 있습니다. 이 장치는 또한 웨이퍼 중심 (wafer centering) 과 언로드 (unloading) 에서 높은 정확도를 제공하여 반복 가능한 공정 수율을 제공합니다. 전반적으로 BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 안정적이고 견고한 웨이퍼 처리 모듈로, 극한의 온도 조절 안정성으로 프로세스 도구에서 웨이퍼를 정확하고 정확하게 처리합니다. 이 장치의 조정 가능한 너비, 높이, 회전 (rotation) 은 다양한 웨이퍼 크기와 호환되며, 조정이 가능한 프로세스 매개변수는 특정 생산 요구사항에 맞게 세밀하게 조정할 수 있습니다. 고급 제어 아키텍처, 내장형 모니터링 및 진단 기능, 고도의 정확도 중심 및 로딩 기능으로 인해 BROOKS ATM-407B-2-S-CE는 최신 프로세스 기술 어플리케이션에 적합한 선택입니다.