판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE #293664249

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE는 반도체 자본 장비를 위한 완전 통합 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 실행 비용이 낮고 안정성이 높으며, 다른 프로세싱 모듈과 원활하게 상호 작용하도록 설계되었습니다. 터치스크린 인터페이스 (touch screen interface) 와 고급 서보 제어 기술 (Servo Control technology) 을 사용하여 정확한 웨이퍼 위치와 절대 반복 가능한 정확도를 제공합니다. 이 장치에는 와퍼를 2 개 또는 4 개 부품으로 정확하게 나누고 가드 밴드 (guard band) 를 설치하여 완벽한 배달을 보장하는 사전 정렬을 제공합니다. 웨이퍼 수송 장비는 마찰 롤러가 적은 정밀 접지 스테인리스 스틸 드라이브 벨트 (precision-ground stainless drive belt) 를 사용하며, 콘트리메이터 플레이트가 장착 된 입자 생성을 최소화하여 부품의 정적 축적을 줄입니다. 또한 웨이퍼 처리 시스템 (Wafer Handling System) 은 미끄럼 감지 (Slippage Detection) 를 포함하여 각 카세트 프레임에서 33 포인트로 완전히 자동화된 포지셔닝 및 웨이퍼 처리 중 경보 상태를 경고하는 경보 장치 (alarming unit) 를 제공합니다. 이 장치에는 로드 및 언로드 전에 각 웨이퍼 (wafer) 를 검사하기 위해 비전 머신 (vision machine) 이 장착되어 있으며, 웨이퍼 방향을 감지하고 조정하여 정확한 배치 및 전송 후 이미징을 보장하는 전용 웨이퍼 처리 알고리즘이 있습니다. BROOKS ATM-407B-2-S-CE 웨이퍼 핸들러는 안정적이고 효율적인 반도체 생산 환경을 제공합니다. 강력하고 안정적인 웨이퍼 처리 및 이미징 기술, 안정적인 서보 제어, 유연한 Splitter and Guard Band, 간편한 사용자 인터페이스, PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE는 세미콘 생산 요구에 적합한 성능을 제공합니다.