판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE #9211143

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE는 반도체 제조 환경을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 모든 크기의 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 를 자동으로 로드 및 언로드하는 데 이상적인 솔루션입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 로드 포트와 프로세스 도구 사이에서 빠르고 정확하게 웨이퍼를 전송할 수있는 인상적인 로봇 핸들을 자랑합니다. 부드럽고 정밀한 움직임을 위해 서보 모터에 의해 구동되는 2 개의 독립적 인 로봇 암이 특징입니다. BROOKS ATM-407-2-S-CE는 운영자, 공구 설비 및 장비를 보호하기 위해 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 로드포트 (load ports) 와 공구 (tooling) 에 대한 검증 센서가 검증되고 적절한 위치에 있지 않으면 고급 안전 연동 장비 (advanced safety interlock equips) 를 통해 로봇암을 이동할 수 없습니다. 또한, 오류를 감지하고 손상되기 전에 즉시 장치를 종료할 수 있는 포괄적인 장애 감지 시스템 (fault detection system) 이 있습니다. PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE는 고속 로봇 드라이브로 시간당 최대 150 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 융통성 있는 "웨이퍼 '처리 장치 는 1 평방" 인치' 당 최대 16 개 의 "웨이퍼 '와" 클러스터' 를 수용 할 수 있도록 설계 되었다. 툴링 툴 (tooling tool) 을 통해 여러 표준 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 를 간단한 변경으로 동일한 설치에 사용할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러에는 빠르고 정확한 웨이퍼 식별을 위해 쉽게 통합 할 수있는 Cognex 비전 (Cognex vision) 자산이 포함되어 있습니다. 비전 모델은 로드 및 언로드 중에 스크래치, 칩 및 기타 웨이퍼의 손상을 정확하게 감지 할 수 있습니다. 무브러시 서보 모터와 견고한 기계 설계 덕분에 ATM-407-2-S-CE 웨이퍼 핸들러는 에너지 효율성이 매우 높습니다. 전력 등급은 370 와트이며 하루 24 시간까지 달릴 수 있습니다. IP43 등급으로, 웨이퍼 핸들러는 많은 산업 응용 분야에 적합한 선택입니다. 전반적으로 BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE는 대용량 반도체 생산 환경에 이상적인 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 사용이 간편한 기능, 고속 로봇 드라이브, 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 를 통해 처리량을 높이고 비용을 절감할 수 있습니다.