판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305 #9363367

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305는 모든 유형의 반도체 제조 응용 분야에 사용하도록 설계된 완전 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 한 번에 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 최대 처리량을 위해 고급적이고 안정적인 웨이퍼 처리 플랫폼을 갖추고 있습니다. BROOKS ATM-305 웨이퍼 핸들러는 자동 반도체 테스트, 정렬, 검사, 장치 포장 및 웨이퍼 결합 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. "노 터치 (no-touch)" 디자인이 장착되어 있어 운영자가 수동으로 장치에 닿지 않고 웨이퍼에 액세스 할 수 있으며, 오류 처리 및 오염 가능성을 최소화합니다. PRI AUTOMATION ATM-305는 접착제 기반 웨이퍼와 쐐기 기반 웨이퍼를 모두 자동으로 처리 할 수 있습니다. 접착제 "웨이퍼 '의 경우, 완전 히 조절 할 수 있는 진공" 시스템' 을 사용 하여 "웨이퍼 '를 이동 시키고 처리 하는 동안 안전 하게 보관 한다. 쐐기 기반 웨이퍼 (Wedge-based Wafer) 의 경우, 기계는 양방향으로 가공된 척 (Machined Chuck) 에 맞는 웨이퍼를 유지하도록 설계되었습니다. 또한 ATM-305는 광범위한 통합 자동화 기능과 기술을 갖추고 있습니다. 여기에는 강력한 이미지 캡처 및 분석 패키지를 갖춘 고급 비전 시스템 (Advanced Vision System), 여러 웨이퍼 유형 및 직경을 지원하는 다양한 처리 알고리즘, 빠르고 쉽게 구성하는 프로그래밍 가능한 연산자 인터페이스 (Programmable Operator Interface), 유연성을 위한 자동화된 공구 체인지오버 (Tooling Changeover) 가 포함됩니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305에는 여러 가지 안전 기능도 포함되어 있습니다. 통합 안전 연동 장치 (Integrated Safety Interlock) 는 잠재적 인 위험으로부터 운영자를 보호하며, 완전 밀폐 된 로봇 암은 우발적 인 전기 손상, 경고 및 중지 경보가 각 스테이션에 있으며, 비상 정지 스위치로부터 보호합니다. BROOKS ATM-305는 대용량 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 웨이퍼 처리 플랫폼 (Wafer Handling Platform), 통합 자동화 기능 (Integrated Automation Features) 및 내장 안전 기능을 통해 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 시스템을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.