판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305 #9164185

BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305
ID: 9164185
Robot.
BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305 Wafer Handler는 반도체 및 태양 전지판 생산, 웨이퍼 검사 및 기타 고정밀 제조 작업을위한 운송 및 처리 솔루션을 제공하는 데 사용되는 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 로봇 처리기입니다. BROOKS ATM-305는 관절 로봇 암, 자동 웨이퍼 전송 장비 및 통합 제어 시스템으로 구성됩니다. PRI AUTOMATION ATM-305의 관절 화 된 로봇 암은 최소 진동으로 정확하고 정확한 움직임을 제공 할 수 있습니다. 6 개의 운동 축에는 선형 (linear) 및 회전 (rotational) 동작이 포함되며, 선형 (linear) 축은 최대 200mm/초이며 회전 축은 최대 180도/초의 회전 속도를 제공합니다. 모션 유닛 (Motion Unit) 은 비접촉 방식으로 정확하고 통제된 움직임을 제공하도록 설계되었으며, 이를 통해 제품 보호 및 신뢰성을 극대화할 수 있습니다. ATM-305 의 자동 웨이퍼 전송 머신 (automated wafer transfer machine) 은 로봇 암과 완전히 통합되어 처리 또는 검사 챔버에 대한 안정적이고 효율적인 웨이퍼 전달을 제공합니다. 양방향 웨이퍼 (wafer) 수송 기능은 용지함 또는 컨베이어가 필요하지 않은 상태에서 안전하고 안정적인 웨이퍼 배달을 보장합니다. 통합 된 자동 클리핑 도구 (Automatic Clipping Tool) 는 전송 작업 중에 웨이퍼가 안전하게 연결되어 있으므로 제품을 부드럽고 안전하게 배송할 수 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305 의 통합 제어 자산은 모든 로봇 및 전송 (transfer) 구성 요소에 대한 완벽한 제어 및 작동을 제공하며, 웨이퍼 처리 프로세스를 쉽고 정확하게 제어할 수 있습니다. 개방형 아키텍처 설계를 통해 외부 시스템과의 빠르고 간편한 통합을 통해, 빠른 설치, 안정적인 운영을 보장합니다. 또한 BROOKS ATM-305는 프로그래밍 가능한 모션 매개변수, 자동 입/출력 기능, 외부 비전 시스템과의 인터페이스 등 다양한 맞춤형 기능을 제공합니다. 전반적으로 PRI AUTOMATION ATM-305 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 웨이퍼 및 기타 고정밀 부품의 운송 및 처리를 위해 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고급 모션 기능, 견고한 컨베이언스 (Conveyance) 모델, 통합 제어 장비가 결합되어 반도체, 태양 광 및 기타 고정밀 제조 작업에 적합한 솔루션이 됩니다.
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