판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305-1 #9211145

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1은 대용량 프로세스를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 자동 웨이퍼 핸들러는 최대 200mm 크기의 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있으며, 웨이퍼 투 웨이퍼 매칭 및 스태킹을 허용합니다. 빠른 속도는 시간당 최대 300 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 한 번에 최대 60 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 장비는 또한 7 개의 다른 소스에서 웨이퍼를 받아 들일 수 있으며, 웨이퍼를 시스템의 3 가지 부분으로 옮길 수 있습니다. BROOKS ATM-305-1에는 최고의 웨이퍼 핸들러로 만드는 몇 가지 기능이 있습니다. 안정성 및 낮은 유지 보수 (maintenance) 를 위해 설계되었으며, 장비의 작동과 수명을 모니터링하기 위해 많은 수의 센서가 내장되어 있습니다. 모듈식 설계는 구성 요소를 쉽게 서비스하는 데 도움이됩니다. 또한, 이 장치는 웨이퍼를 배치하는 데 ± 1 m의 정확도로 높은 정확성과 반복성을 갖도록 설계되었습니다. PRI AUTOMATION ATM-305-1에는 많은 안전 기능이 있습니다. 도어 인터록 (Door Interlock) 과 E-Stops (E-Stops) 를 모두 사용하여 운영자가 위험에 처하지 않도록 설계되었으며 비상 사태의 경우 기계가 빠르게 차단됩니다. 또한 오염으로부터 웨이퍼를 보호하는 에어 샤워가 있습니다. 또한, 샤워 기능은 이동 중에 웨이퍼에서 입자를 제거하는 데 도움이됩니다. 이 도구에는 웨이퍼 처리 및 전송에 도움이 되는 흡입 기능도 포함되어 있습니다. ATM-305-1은 볼륨에서 웨이퍼를 처리하는 데 적합합니다. 견고한 설계, 안전 기능, 높은 정확성, 유연성 등 다양한 대용량 프로세스에 적합한 솔루션으로, E-Stops 및 기타 안전 기능도 안전하게 선택할 수 있습니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1의 모듈식 설계로 유지 보수가 최소화되어 장기적인 운영 안정성을 보장합니다. 결국 BROOKS ATM-305-1은 대용량 웨이퍼 처리에 적합합니다.