판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305-1 #9211142

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 제조에 사용되는 것과 같이 얇고 민감한 웨이퍼로 작동하도록 설계된 잘 설계된 신뢰할 수있는 자동화 장치입니다. BROOKS ATM-305-1은 X 축과 Y 축 모두에 공기 베어링을 갖춘 2 축 웨이퍼 핸들러입니다. 이렇게 하면 마찰 이동이 뛰어나고 위치 정확도가 우수하여 최대 50 "미크론 '의 총 오차로 직경 6" 인치' 의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. PRI AUTOMATION ATM-305-1은 정확한 위치에 웨이퍼를 정확하게 설정하기 위해 3 축 광학 탐지 시스템을 갖추고 있습니다. 웨이퍼가 정확하게 정렬되면, 핸들러는 짧고, 정확도가 높은 단계로 이동하여, 처리 작업 중에 각 웨이퍼가 정확하게 배치되도록 할 수 있습니다. 이것은 매우 얇은 웨이퍼를 사용하는 데 특히 유용합니다. 즉, 정확한 위치 지정은 이러한 섬세한 재료를 사용하는 데 매우 중요합니다. ATM-305-1에는 매우 높은 토크 스테퍼 모터 2 개를 포함한 드라이브 모터 (drive motor) 세트가 장착되어 있으며, 안정적이고 반복 가능한 힘을 제공하여 웨이퍼를 안전하고 정확하게 이동할 수 있습니다. 제어 센서, 이중 안전 장치, 이온화 공기 폭발 (옵션) 등 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '가 안전 하고 안전 하게 처리 되고" 웨이퍼' 손상 위험 이 줄어든다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1은 다양한 유지 보수 및 지원 기능을 제공합니다. 여기에는 원격 진단 (Remote Diagnostics) 및 제어 (Control) 가 포함되어 있어 운영자가 PC 또는 모바일 장치에서 핸들러 상태를 확인할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 다양한 예비 부품 (Spare Part) 과 부품 (Component) 을 제공하여 운영자가 자체적으로 수리 및 교체할 수 있도록 합니다. 전반적으로, BROOKS ATM-305-1 웨이퍼 핸들러는 매우 정확하고 안정적인 모션 컨트롤, 안전 기능, 유지 보수 및 지원 기능 덕분에, 민감한 웨이퍼로 작업할 수 있는 탁월한 선택입니다. 이 "시스템 '을 사용 하면 안정적 이고 정확 한 생산 과정 을 이룰 수 있으며, 각" 웨이퍼' 는 최소 의 오류 나 손상 으로 처리 된다.