판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305-1 #293749368

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1 Wafer Handler는 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 기계입니다. 또한 Wafer 를 자동으로 전송, 처리, 정렬하고 처리량을 높이고 Wafer 하위 장비 비용을 절감합니다. BROOKS ATM-305-1은 다이 부착 작업, 단면 컨택터, 다이 롤러, 칩 온 보드, 레이저 직접 이미징 및 테스트 웨이퍼와 같은 다양한 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 기계에는 300 또는 200mm 웨이퍼를 처리하기위한 탑로드, 6 인치 또는 8 인치 수평 및 수직 로더가 장착되어 있습니다. PRI AUTOMATION ATM-305-1은 방향 및 정렬을 위해 자동으로 웨이퍼를 센터 전송 포켓에 배치합니다. "포켓 '에는" 웨이퍼' 를 중심 으로 하여 정밀 한 배치 를 할 수 있는 전동 "리프팅 핀 '이 갖추어져 있어서 각" 웨이퍼' 의 정확 한 위치 를 유지 하고 있다. 웨이퍼 핸들러는 2 세트의 리어 웨이퍼 토너 (rear wafer toner) 의 도움으로 최대 200 그램의 웨이퍼로드를 관리 할 수 있습니다. 웨이퍼 그리퍼는 직경이 1 um 인 자체 조절 가능한 Teflon 벨트로 만들어져 ATM-305-1의 중량 웨이퍼 처리 능력을 더욱 향상시킵니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1에는 수동 로딩 없이 웨이퍼를 식별 및 방향 지정하는 통합 비전 (Integrated Vision) 시스템도 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 시스템 로딩 과정에서 웨이퍼를 정확하게 찾아, 정렬하고, 배치할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 바코드 인식 및 데이터 입력/출력도 가능합니다. 편의성을 높이기 위해 비전 유닛 (vision unit) 을 프로그래밍하여 최대 10 개의 사전 설정 위치를 메모리에 저장할 수 있습니다. 즉, 운영 실행을 빠르게 변경하는 데 사용할 수 있습니다. BROOKS ATM-305-1은 공압 노즐 머신과 함께 제공되어 보다 빠르고 정확한 웨이퍼 로딩 및 랜딩을 제공합니다. 노즐 도구는 압축 공기를 사용하여 홀더의 웨이퍼를 포켓으로 정확하게 밀어냅니다. 이 자산은 200mm에서 8 "웨이퍼까지 다양한 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계되었습니다. PRI AUTOMATION ATM-305-1에는 운영자 보호를 극대화하는 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 외부 주거지 를 따라 장착 된 "센서 '는 이물질 을 탐지 하는 데 사용 되므로" 오퍼레이터' 와 기계 자체 를 모두 보호 한다. 또한 키 잠금 모델 (key lock model) 이 장착되어 시스템의 컨트롤에 대한 무단 액세스를 방지합니다. ATM-305-1 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 의 혁신적인 설계와 안정적인 작동은 반도체 업계에서 귀중한 장비입니다. 탁월한 성능, 처리량 증가, Wafer 하위 장비 비용 절감, 보다 효율적인 운영 기능을 제공합니다. 기능의 배열은 다이 첨부 작업, 단면 컨택터, 다이 롤러, 칩 온 보드, 레이저 다이렉트 이미징 및 테스트 웨이퍼와 관련된 모든 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.