판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-2345 #9064559

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-2345는 반도체 웨이퍼의 대량 생산을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. BROOKS ATM-2345는 단일 통합 장치에서 중앙 재료 처리 및 자동 작동을 제공합니다. PRI AUTOMATION ATM-2345는 최대 200mm 웨이퍼를 처리하고 주 프로세스 스테이션으로 운송하기 위해 컨베이어 벨트에 언로드 할 수있는 대형 웨이퍼 로더 (wafer loader) 를 갖추고 있습니다. 공정 스테이션 (Process Station) 에는 다양한 처리 도구에 웨이퍼 조작과 자동 배치가 가능한 고급 로봇 암 (Robotic arm) 장비가 포함되어 있습니다. ATM-2345에는 원격 진단, 운영 모니터링 시스템, 완벽한 PC 기반 제어 등 다양한 기능이 제공됩니다. 또한 BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-2345에는 낮은 입자 방출 인클로저 및 먼지 수집 장치가 장착되어 있습니다. 브룩스 ATM-2345 (BROOKS ATM-2345) 는 고품질의 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되어 있어 오염의 위험을 줄여주는 견고한 설계와 뛰어난 성능, 신뢰성을 제공합니다. 또한 내장형 공기 여과기, 저소음 팬 제어 (Low-Noise Fan Control), 모듈식 부품 (Modular Component) 을 갖춘 밀봉 케이스를 다른 공정 장비와 쉽게 통합합니다. PRI AUTOMATION ATM-2345 (PRI AUTOMATION ATM-2345) 는 유연한 운영자 인터페이스를 통해 설계되었으며, 광범위한 데이터 로깅 및 분석 기능 외에도 모든 시스템 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. ATM-2345 는 고효율 웨이퍼 (wafer) 핸들러로, 모든 생산 또는 연구 개발 환경에서 귀중한 부분을 차지합니다. 시속 500 웨이퍼 (wafer) 까지 속도를 낼 수 있어 대용량 생산에 이상적입니다. BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-2345는 또한 구성 기능이 뛰어나 다른 프로세스에 맞게 조정할 수 있습니다. 여기에는 컨베이어 벨트에 자동 언로드 (automatic unloading) 와 습식 (wet etching) 및 스퍼터링 (sputtering) 과 같은 다양한 처리 방법이 포함됩니다. 또한 BROOKS ATM-2345에는 in-situ E-stop 및 lid open interlock과 같은 수많은 안전 기능도 포함되어 있습니다. PRI AUTOMATION ATM-2345는 기술 업계에서 사용할 수있는 가장 강력하고 안정적인 웨이퍼 핸들러 중 하나입니다. 단일 통합 장치 (Integrated Unit) 에서 고품질 웨이퍼 (Wafer) 로딩 및 처리 기능을 제공하며, 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있습니다. 또한 ATM-2345 는 운영자와 인력을 안전하게 보호할 수 있는 다양한 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있으며, 웨이퍼 (Wafer) 처리량이 높아 대용량 생산 환경에 이상적인 솔루션입니다.