판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107B-2-S-CE #9209886

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-107B-2-S-CE 웨이퍼 핸들러는 최대 12 인치 직경의 웨이퍼를 안전하고 효율적인 방식으로 처리하도록 설계된 로봇 장비입니다. 통합 워크스테이션 (Workstation) 과 안정된 성능과 반복 기능을 위해 산업적으로 강화된 아키텍처를 갖춘 서보 기반 로봇입니다. 기본 시스템에는 시력 및 모션 피드백을위한 현미경, 센서 정렬 및 정렬 검사를위한 통합 비전 유닛, 웨이퍼 조작을위한 엔드 오브 암 (End-of-arm) 도구, 쉬운 작동을위한 간단한 사용자 인터페이스, 다수의 I/O 연결이 포함됩니다. 외부 시스템. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 다양한 작동 매개변수를 사용할 수 있으며, 최종 이펙터, 카메라, 컨트롤 배열을 사용하여 사용자정의할 수 있습니다. 기계의 유연한 아키텍처 (Flexible Architecture) 를 사용하면 다양한 웨이퍼 크기와 두께와 함께 사용할 수 있습니다. 이 도구는 실리콘, 갈륨 비소, 석영 등 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 서보 모터는 웨이퍼 처리 로봇을 X 축과 Y 축 모두에서 이동시켜 정확한 위치를 지정합니다. 프로그램 가능한 모션 컨트롤러 (programmable motion controller) 는 모션을 제어하여 전체 모션 범위에서 정확하고 반복 가능한 동작을 보장합니다. 웨이퍼 처리 로봇은 회전, 가속/감속, 저크 제어, 백래시 보상 등 복잡한 움직임을 위해 프로그래밍 될 수 있습니다. 자산에는 침대에서 웨이퍼를 정확하게 식별하고 찾을 수있는 다양한 센서 (sensor) 와 비전 (vision) 시스템이 장착되어 있습니다. 광원 방출기 배열 (array of light emitter) 을 사용하여 다양한 유형의 웨이퍼 재료 및 모양을 감지 할 수 있습니다. 통합 비전 (Integrated Vision) 모델을 사용하여 웨이퍼를 암 끝 (End-of-arm) 도구에 맞추고 정렬할 수 있습니다. 작은 표면 의 불완전성 을 탐지 하고 "칩 '이나" 에지' 의 손상 을 확인 하도록 장비 를 설치 할 수 도 있다. BROOKS ATM-107B-2-S-CE 웨이퍼 핸들러는 높은 정확성과 신뢰성으로 인해 반도체, 자동차, 의료 기술 산업에 적합합니다. 이 시스템은 다양한 웨이퍼 크기, 재료, 두께를 반복 가능한 결과로 처리 할 수 있습니다. 유연성, 직관적인 사용자 인터페이스, 다양한 I/O 연결을 통해 다양한 애플리케이션에 통합할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 내구성이 높고 견고한 (견고한) 구조로 인해 열악한 조건이 있는 환경에서 사용할 수 있습니다. 결과적으로, 이 기계는 신뢰할 수 있고 정확한 웨이퍼 핸들러를 찾는 모든 조직에 적합한 선택입니다.